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纳米科学、材料科学、微电子科学等领域的快速发展，对精细加工与微观分析能力提出越来越高的需求，推动高端扫描电子显微镜在微电子设计与先进制造领域的广泛应用，包括透射电镜(TEM)样品制备、材料......
~1000nm范围内，随着物质原子序数的不同而发射不同特征的背散射电子，因此背散射电子图象具有形貌特征和原子序数判别的能力，也因此，背散射电子像可反映化学元素成分的分布。现时的扫描电......
台湾等多家半导体厂商建立了合作关系； 三、不断提升售后服务水平，并在国内建立完善的耗材和配件库。对于半导体行业常用的产品，比如FIB、场发射扫描电镜等，TESCAN目前在国内已经库存了设备所需90......
性镀层分析以及做锡须分析测量等。 与光学显微镜不同，扫描电镜所成的是电子像，因此只有黑白两色，并且扫描电镜的试样要求导电，对非导体和部分半导体需要喷金或碳处理，否则......
科学等领域得到了应用验证。此后该公司又开发了第二代透射电子显微镜产品BZ-F200，其性能指标同国外同类电镜水平相当，首台商业化产品交付在即。这期间公司实现了超高稳定度高压电源、场发射电子枪、热场（肖特基）电子源、高稳......
系经典磁学和量子磁学之间的桥梁。 SmScO3 衬底上 SrRuO3/PbTiO3/SrRuO3 三层薄膜的截面样 (b-d) 和平面样 (e, f) 的像差校正透射电镜图像，展示......
分析等评价技术对分辨率和精度提出了更高的要求。在半导体行业、电池和材料领域，在为透射电子显微镜(TEM)制备样品时需要“更高的精度”和“更薄的样品”。本产品是可高精度加工的FIB（聚焦离子束）系统和高分辨率SEM（扫描电子显微镜）的组合系统，可满......
刚石上的异质集成，采用时域热反射（TDTR）和透射电镜对不同厚度纳米非晶沉积层样品的键合界面在退火前后进行了测试与表征，深度剖析了其成分与组织的演变行为及其对界面热导的影响。研究发现，虽然......
显微镜可达到最高 50nm 级别的分辨率，当需要研究更高分辨率的细节时，则需要用到新一代聚焦离子束（FIB）技术。FIB 利用高强度聚焦离子束（通常为镓离子）对材料进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM），可同......
要用到新一代聚焦离子束（FIB）技术。FIB 利用高强度聚焦离子束（通常为镓离子）对材料进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM），可同时实现对样品的加工和观察。 目前，蔡司......
着对先进技术的尝试，铠侠成功找到了通过氧化物半导体晶体管实现DRAM内存产品的可能性，为将来更为丰富的存储产品方案奠定了很好的基础。 图1：InGaZnO垂直晶体管的横截面透射电镜图图2：InGaZnO晶体......
提供完整的清洗解决方案支持。他将在本场讲座中分享清洗CoWoS器件的一项研究成果。研究主要针对凸点间距小于 25μm 和凸点数超过 15万的超细间距，应用不同的工艺参数开展对比试验，并采用扫描电镜......
-AgNW）薄膜进行直接激光图案化，以及随后的选择性蚀刻而制备。（i）FS-GaIn扫描电镜显微图；（ii、iii）液态金属-银纳米线薄膜激光曝光前后的扫描电镜显微图。 左图：FS-GaIn与人......
一端向外连接至封装。 图3 APL1028芯片的扫描电镜剖面图（显示带磁性包络的耦合电感） 这与2011年的英特尔研究论文中提出的概念相似，甚至电感包络中似乎使用了相同的CoZrTa磁性材料叠层。苹果......
铜条外部包绕磁性材料制成的包络。各铜条的一端通过过孔与芯片相连，而另一端向外连接至封装。   图3：APL1028芯片的扫描电镜剖面图（显示带磁性包络的耦合电感） 这与2011年的......
分析等评价技术对分辨率和精度提出了更高的要求。在半导体行业、电池和材料领域，在为透射电子显微镜(TEM)制备样品时需要“更高的精度”和“更薄的样品”。本产品是可高精度加工的FIB（聚焦离子束）系统和高分辨率SEM（扫描电子显微镜）的组合系统，可满......
缘粗糙度也是影响电子表面散射和金属线电阻率的重要因素。图1(b)是典逻辑5nm后段制程M2线的扫描电镜照片，可以看到明显的边缘粗糙度。最近，我们使用虚拟工艺建模，通过改变粗糙度振幅(RMS)、相关长度、所用材料和金属线关键尺寸，研究......
。原子力显微镜、截面扫描透射电镜证明了剥离后的金属表面呈现无缺陷的原子级平整。铜、银、金、铂、钛和镍六种金属电极阵列均可以成功转印至二硫化钼（MoS2）沟道材料上，形成理想的金属/半导体界面，并观......
光刻机设备、购置ArF光刻机配套设备、建设研发大楼。 晶瑞电材表示，该项目已完成ASML光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等研发设备购置，其他研发设备正在积极购置当中。最终......
子在薄膜上界面处富集。在此基础上，研究团队对钙钛矿薄膜晶相分布进行了深度剖析，通过掠入射 X 射线衍射（GIXRD）与薄膜截面的透射电镜（TEM）分析，证明了在薄膜底部存在面间距较小的晶相，并且......
胶量产化生产线正在积极建设中。公司高端KrF（248）光刻胶已完成中试，建成了中试示范线，已进入客户测试阶段。 据悉，目前晶瑞电材ArF（193）高端光刻胶研发工作已正式启动，已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜......
）。扫描透射电镜（图1b）和劳厄相机（图1c）测试结果表明Bridgman法制备所得晶体具有优良的单晶性和均匀性。光学二次谐波产生测试（SHG，图1d）进一步揭示了Bridgman法生......
切片分析 扫描电镜、能谱分析 染色试验 五、PCB失效......
测量了高达67.5pN范围内的光子力相互作用，分辨率为30fN。 图2 用于光子力研究的热增强pfMEMS微悬臂梁的扫描电镜图 ......
全固态电池空间电荷层微观机理揭示;记者28日从中国科学技术大学获悉，该校马骋教授团队通过球差校正电镜的原子尺度观测，研究了空间电荷层对全固态锂电池中离子传输的影响，并发......
胶已完成中试，建成了中试示范线，目前已进入客户测试阶段，同时KrF（248nm）光刻胶量产化生产线正在积极建设中；高端ArF(193nm)光刻胶研发项目已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶......
行钨填充工艺。 基于硅的扫描电镜图像和每个填充步骤的基本行为，使用SEMulator3D®虚拟工艺建模，重建了通孔钨填充工艺。 建模工艺包括： 1. 前置沟槽刻蚀（初刻蚀、初刻蚀过刻蚀、主刻......
学结构。(c)扫描电镜下MAPbI3材料的形貌表征。(d-e) MAPbI3和MAPbI3-PCBM(61)薄膜的XPS光谱。(f)一步溶液法制备的MAPbI3材料的XRD表征细节。(e) MAPbI3......
矛，中国科学院院士。现任北京大学电子学院院长、北京大学碳基电子学研究中心主任。主要从事电子显微学和碳基纳米电子学研究。在电子显微学领域，发展了可以精确处理一般材料体系反射和透射电子衍射、弹性......
解其实际应用，需要对其结构、循环性能和正极性能进行更详细的分析。因此，研究人员使用多种标准技术，对合成的正极材料进行表征。 首先，利用X射线衍射、吸收光谱和透射电子显微镜，研究Mg1.33V1.67......
于质谱、静电夹头、光电倍增管、电子束/离子束、电泳、扫描电子显微镜和电容充电等应用。......
于质谱、静电夹头、光电倍增管、电子束/离子束、电泳、扫描电子显微镜和电容充电等应用。......
性高、坚固耐用、适应性强。 发射部分：光学镜头 激光发射镜头部分采用准直透镜和衍射透镜结合的方式。反射式和透射式准直镜被用在光束传递系统中，以维持激光谐振腔和聚焦光学元件之间的光束的准直性。 反射......
系统来测量沟槽深度以及底部和顶部临界尺寸 (CD) 隐形挑战 使用基于沟槽的架构测量 SiC 功率器件时的核心挑战是：自上而下的测量方法无法看到凹入式结构和垂直凹入式结构。这适用于临界尺寸扫描电子显微镜 (CD-SEM) 和基......
般示波器来说，X轴和Y轴都设置有衰减器，以满足各种测量的需要。 三、扫描系统 扫描系统也称时基电路，用来产生一个随时间作线性变化的扫描电压，这种扫描电压随时间变化的关系如同锯齿，故称锯齿波电压，这个电压经X轴放......
cm−2下5个循环后，Al/N-C和Al/C上Na沉积形貌的扫描电镜图像。 图5. Al/N-C||PTPAn AFSDIBs的失效分析。(a)Al/N-C（循环）||Na（新鲜）半电......
极”材料，正式进入人类的视野。 “这些光阴极材料基本上都是传统金属和半导体材料，大多数在60年前被发现。它们已成为当代粒子加速器、自由电子激光、超快电镜、高分辨电子谱仪等尖端科技装置的核心元件。”何睿......
iPhone 8新特性曝光！小米5S笑了;本周四，苹果专利和商标局公布了一项苹果在2014年9月申请的专利，专利的名称为“包含静电镜头的电容式指纹识别传感器”。 外媒推测称，这一......
iPhone 8新特性曝光！小米5S笑了;本周四，苹果专利和商标局公布了一项苹果在2014年9月申请的专利，专利的名称为“包含静电镜头的电容式指纹识别传感器”。 外媒推测称，这一......
的截面电镜图及转移输出曲线 图2: CAA IGZO FET的可靠性测试结果 经过优化后的IGZO FET表现出优秀的可靠性，经过10000秒栅极偏压应力稳定性测试后（包括......
成了相应结构的流片实验。 通过结合形貌仿真和透射电子显微镜（TEM）表征，探究了Ge层刻蚀表面圆化现象，以及......
半导体薄膜沉积设备项目为集半导体前道制程薄膜沉积高端设备研发、生产、销售为一体的总部基地。项目新征土地25亩，新建厂房等2.5万平方米，购置原子薄膜沉积设备、SEM电镜等设备50台（套），年产50台套半导体薄膜沉积设备。建成后，将实现半导体设备国产替代，打破......
子所博士生段新绿和华为海思黄凯亮博士为共同第一作者，微电子研究所李泠研究员、耿玓副研究员以及华为海思景蔚亮博士为通讯作者。  图1. 关键尺寸（CD）50 nm的IGZO-CAA FET的截面电镜......
大学的研究团队通过先进的聚焦离子束技术，制备出了宽度仅为100纳米的斯格明子赛道。他们还利用高时空分辨率的洛伦兹电镜技术，实现了纳秒级电脉冲驱动下的斯格明子运动。实验结果显示，80纳米大小的斯格明子能在100纳米......
子显微镜对材料的表面形貌进行高分辨率观察。扫描电子显微镜通过发射电子束对材料表面进行扫描，电子束与材料表面相互作用产生二次电子、背散射电子等信号，通过接收和分析这些信号，可以......
范围高达150kV，这些产品将包括现成的和定制的解决方案，纹波规格低至1ppm，在扫描电子显微镜和超高压电容充电器等高重复率的应用中实现精确性。在展台上，XP Power还将展示HRC05和HRL30系列......
LiMnO2，也被广泛研究。然而，由于其电极性能较差，实际应用受到限制。日本横滨国立大学的研究人员在最近的研究中解决了这个问题。 研究人员通过 X 射线衍射、扫描电子显微镜和电化学方法对 LiMnO2 的各......
在屏幕上显示出完整的稳定波形，将Y轴的被测信号③引入X轴系统的触发电路，在引入信号的正（或者负）极性的某一电平值产生触发脉冲⑥，启动锯齿波扫描电路（时基发生器），产生扫描电压⑦。由于从触发到启动扫描......
晶材料做成可以控制光线进出的开关，进而达到成像效果的。 液晶显示板是在两玻璃基片之间充入液晶材料，并在玻璃基片表面贴线偏振片、扫描电路、薄膜晶体管(TFT)等构成的。当某一象素的行电极加上扫描电压，薄膜晶体管(TFT)导通，该液......
验证多金属设计候选材料，研究人员在国家能源研究科学计算中心（NERSC）的超级计算机上，基于密度泛函理论进行了高级理论计算。在伯克利实验室的纳米科学用户设施分子铸造厂（Molecular Foundry），研究人员利用扫描透射电......

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