矢量网络分析仪的误差来源主要有以下三个方面：漂移误差、随机误差、系统误差。

1、漂移误差：是由于进行校准之后仪器或测试系统性能发生变化所引起，主要由温度变化造成。

2、随机误差：是不可预测的且不能通过校准予以消除，主要随时间随机变化。然而，有若干可以将其对测量精度的影响减至最小的方法。

随机误差的三个主要来源：

<1>仪器噪声误差：是分析仪元件中产生的不希望的电扰动。这些扰动包括由于接收机的宽带本底噪声引起的低电平噪声;由于测试装置内部本振源的本底噪声和相位噪声引起的高电平噪声或迹线数据抖动。

<2>开关重复性误差：分析仪中使用了用来转换源衰减器设置的机械射频开关，有时机械射频开关动作时，触点的闭合不同于其上次动作的闭合。在分析仪你内部出现这种情况时，便会严重影响测量的精度。

<3>连接器重复性误差：是由于连接器的磨损会改变电性能。

3、系统误差：

系统误差是由矢量网络分析仪和测试装置中的不完善性所引起，是重复误差(因而可以预测)，且假定不随时间变化。系统误差中的各项误差都是矢量，一旦其矢量特征(幅度和相位)已知，这些误差可以通过数学运算从原始的测量中减去。利用校准件可以达到减小误差的目的。

<1>反射测量产生下列三项系统误差：方向性、源匹配、频率响应反射跟踪。

<2>传输测量产生下列三项系统误差：隔离、负载匹配、频率响应传输跟踪。