据中国法院网消息，科创板首批上市公司之一的中微半导体设备（上海）有限公司被卷入威科仪器行政专利纠纷案。

根据法院起诉状副本显示，起诉方是威科仪器有限公司起诉被告国家知识产权局、第三人中微公司专利行政纠纷，该案目前已被北京知识产权法院受理，法院将于2020年9月10日下午14时开庭审理此案。

截至发稿前，中微公司未对该案予以置评。

国际电子商情小编了解到，这起诉讼可以追溯到2017年的一起专利无效案。

2017年5月，中微半导体向国家知识产权局申请对威科仪器的专利进行无效宣告，而国家知识产权局于2017年9月开始审理，并于2018年1月决定由威科仪器申请的“通过化学汽相沉积在晶片上生长外延层的无基座式反应器（专利号 018225507.1）”发明专利无效。

而威科仪器对国家知识产权局审理的专利无效决定感到不满，并向北京知识产权法院提起行政诉讼，该案于2018年被受理，定于2020年9月10日下午14时开庭审理。

据了解，“化学气相沉积装置”专利涉及的MOCVD装置为生产半导体器件如发光二极管（LED）芯片的核心设备，占据半导体行业价值链的重要位置，对产业发展具有重要影响。

而中微半导体在2018年时也因为相关专利被其竞争对手之一——维易科精密仪器就该专利提出无效宣告请求。

2018年，维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司于2018年就专利权人中微半导体设备（上海）有限公司的实用新型专利权（专利号：ZL201220056049.5）提出的无效宣告请求，国家知识产权局原专利复审委员会经审理作出审查决定，在修改后的权利要求书的基础上维持中微半导体专利权有效。

据悉，该设备包括旋转的主轴和随之转动的托盘。在工作时，芯片放置在托盘上，并由托盘带动其进行转动，同时通过气相沉积工艺在芯片表面沉积外延层。半导体芯片的高度精密性对于托盘转动的平稳性和精度有着极高要求。涉案专利就是对于主轴和托盘之间连接方式的改进。

责任编辑：Elaine