在台积电与英特尔先前各自宣布将在美国设置先进制程晶圆厂以因应未来的市场需求之后，韩国媒体报道指出，目前三星在竞争对手的压力下，已经决定在原本就设有晶圆厂的德州奥斯汀地区设立先进制程晶圆厂，而且还将首次在海外设立极紫外光曝光技术(EUV)的产线。

韩国媒体《etnews》报道称，据韩国业界人士透露，三星已经做出了一项内部决定，就是在原本就设有晶圆厂的美国德州奥斯汀地区、建立先进制程的晶圆厂。其中的产线，还包括了EUV技术，总投资额约为20兆韩元(约190亿美元)。而整个工程将于2021年第3季启动，目标是在2024年开始投产营运。

报道指出，这是三星首次在海外建立EUV生产线，将聚焦在先进的5纳米制程技术。而这项投资也是回应当前美国对先进制程芯片的需求增加，以及美国总统拜登决定重新建立美国半导体供应链的计划下所进行的大规模投资。目前，三星在德州奥斯汀地区原本就设有一座以14纳米制程之后为主的成熟制程晶圆厂。而该厂曾经在2021年2月因为美国暴风雪气候，造成断电雨缺水而停工一段时间，这也让美国在汽车芯片的供应上更加吃紧，导致美国政府在汽车产业的要求下，计划积极吸引海外半导体厂到美国进行设厂量产。

报道进一步指出，三星在竞争对手台积电与英特尔陆续宣布将在美国建立先进制程晶圆厂的压力之下，原本就预计跟随脚步，积极在美国建立相关先进制程晶圆厂。只是，先前有报道指出，包括德州、亚利桑那州和纽约州都被认为是可能设置晶圆厂的地点。而一直在进行地点挑选的三星，其下决定的关键就在于美国各级政府所能提供的补贴状况。因此，这次传出预定选择德州的决定，除了是三星在德州过去的基础之外，相信政府也给予另三星满意的补助条件。

不过报道强调，正式的投资内容发表可能将在21日举行的美韩高峰会前后进一步公开，届时就能确认其中相关细节。

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