据业内信息报道，荷兰光刻机设备商在中国台湾的新厂预计将于明年中旬大约7月份动工，这也是ASML目前在中国台湾最大的投资。

同时，预计荷兰ASML会将欧洲供应链体系带来，而预计会在林口工一研发中心或桃园龟山两处，也可能在台湾的新竹/台中/台南等地。

行政主管沈荣津在出席某论坛时表示，荷兰将规划将在台湾新北市林口工一产业园区内新建厂区来扩充产能，预计在2023年7月开工。