据中国科学院官网消息,近日,由中国科学院西安光机所承担的“国家双创示范基地双创支撑平台建设项目——陕西光电子集成电路先导技术中试平台”通过总体验收。
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中国科学院官网介绍称,西安光机所于2017年获批国家 “第二批大众创业万众创新示范基地”,并于2019年5月获得“国家双创示范基地双创支撑平台建设项目——陕西光电子集成电路先导技术中试平台”批复。通过项目支持建设,平台现已建成了一条可支持以VCSEL芯片为主的化合物半导体芯片研发、小试工艺线,具备了快测和全流程工艺流片能力,目前VCSEL4&6英寸快测及全流程工艺已通线。
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