ITO（氧化铟锡）是一种高导电性和光学透明材料，真空沉积在玻璃和塑料基板上，用于各种应用，如平板显示器、电致发光灯、建筑窗户、抗静电涂层等。ITO涂层的薄层电阻随涂层厚度而变化-厚度越大，产生的薄层电阻越低。片状电阻可用于比较器件的电气财产，即使它们的尺寸差异很大。ITO薄膜的薄膜厚度、片状电阻和光学透射率可分别使用表面轮廓仪（Tencoralpha-step X-100）、四探针片状电阻测量系统和光纤光谱仪（Ocean optical model USB 2000）进行测量。射频溅射和商用ITO薄膜的薄层电阻值分别为103和36Ω/□, 分别地当膜厚度增加到约700nm时，薄层电阻迅速降低到4/sq。在厚度的进一步增加中，ITO薄膜是一种高度退化的宽间隙半导体，具有低电阻率和在可见光谱上的高光透射率。
延伸阅读
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资讯
教你一招辨别真假OLED屏(2024-09-06)
幕变成曲面时，这些零部件并不能跟着变成弯曲状，这也是LED曲面电视机身较厚甚至背部依旧采用平面设计的主要原因。
而这些技术缺陷的表现为：一是在工艺上硬性烤弯易爆屏，容易大面积漏光;二是机身厚度与......
通过工艺建模进行后段制程金属方案分析(2024-04-09)
：趋势曲线）从上至下：电容与面积、电阻与面积、电阻电容乘积与面积
图3突出显示了每种金属的电阻与电阻电容乘积的交叉点，并表明在较小尺寸上，无需阻挡层的钌方案优于其他两种金属材料。这一......
基于ADS7846在线动态签名认证系统(2023-07-11)
的自身特性有关， ITO导电膜的电导率公式为r=r0(1+l0/d)，其中d为导电膜的厚度，所以ITO电导率和ITO导电膜的厚度成反比，所以当触摸的压力越大，接触点的ITO导电膜就越薄，所以相应的电导率就大，电阻......
晶诺微亮相慕尼黑光博会，为半导体工艺提供国产先进量检测设备(2024-04-01 09:43)
功能。QUASAR E100是一款桌面式光谱椭偏膜厚仪，它为客户提供更加准确和更加稳定的厚度和折射率测量，广泛应用于科研、半导体、液晶、太阳能制造等领域，适用于对厚度......
晶诺微亮相慕尼黑光博会，为半导体工艺提供国产先进量检测设备(2024-03-29)
导体量测设备包括光学薄膜测量设备QUASAR S系列和晶圆厚度及翘曲度测量设备ZMET，检测设备包括缺陷检测设备PULSAR系列。
QUASAR S系列应用于集成电路芯片制造生产线上的光学膜厚测量设备，适用于6、8、12......
晶诺微亮相慕尼黑光博会，为半导体工艺提供国产先进量检测设备(2024-03-29)
、光刻过程中关键尺寸的测量、晶圆厚度及弯翘曲测量等等；检测主要包含无图形缺陷、有图像缺陷、掩模版缺陷、缺陷复检等等。
光学量测设备
QUASAR R100是一款体积小巧的光谱反射式膜厚......
晶诺微亮相慕尼黑光博会，为半导体工艺提供国产先进量检测设备(2024-04-01)
功能。
QUASAR E100是一款桌面式光谱椭偏膜厚仪，它为客户提供更加准确和更加稳定的厚度和折射率测量，广泛应用于科研、半导体、液晶、太阳能制造等领域，适用于对厚度......
晶诺微亮相慕尼黑光博会，为半导体工艺提供国产先进量检测设备(2024-03-29)
、光刻过程中关键尺寸的测量、晶圆厚度及弯翘曲测量等等；检测主要包含无图形缺陷、有图像缺陷、掩模版缺陷、缺陷复检等等。
光学量测设备
QUASAR R100是一款体积小巧的光谱反射式膜厚......
8009电阻率测试夹具的特点及应用范围(2023-04-26)
高达3.2mm。在光滑并列的样片上，8009保持良好的样片接触均匀压力（从6磅到10磅，取决于样片厚度）。8009的前面板上有切换体电阻率和表面电阻率的开关，而且使用6517B就能......
半大马士革集成中引入空气间隙结构面临的挑战(2023-12-18)
对可以控制和维持空气间隙闭合和体积的工艺参数进行敏感性分析。其间，通过改变M1光刻关键尺寸、硅碳氮间隙闭合介电层厚度、二氧化硅硬掩膜厚度、M1钌横向刻蚀和钌高度，我们在SEMulator3D上共进行了200次蒙特卡罗实验。相关......
半大马士革集成中引入空气间隙结构面临的挑战(2023-12-18)
对可以控制和维持空气间隙闭合和体积的工艺参数进行敏感性分析。其间，通过改变M1光刻关键尺寸、硅碳氮间隙闭合介电层厚度、二氧化硅硬掩膜厚度、M1钌横向刻蚀和钌高度，我们在SEMulator3D上共进行了200次蒙特卡罗实验。相关......
为刻蚀终点探测进行原位测量(2024-01-22)
测量”，帮助追踪并实时更新刻蚀工艺循环中的材料厚度。通过结合虚拟测量薄膜厚度估测和流程循环索引，用户可以在每个循环后准确获取原位材料刻蚀深度的测量结果。
用 SEMulator3D 模拟......
为刻蚀终点探测进行原位测量 使用SEMulator3D®工艺步骤进行刻蚀终点探测(2024-01-18)
能进行“虚拟测量”，帮助追踪并实时更新刻蚀工艺循环中的材料厚度。通过结合虚拟测量薄膜厚度估测和流程循环索引，用户可以在每个循环后准确获取原位材料刻蚀深度的测量结果。
用 SEMulator3D 模拟......
为刻蚀终点探测进行原位测量(2024-01-18)
材料可供刻蚀”的条件。在循环中，用户可以在循环索引的帮助下确认完成的循环数量。此外，SEMulator3D 能进行“虚拟测量”，帮助追踪并实时更新刻蚀工艺循环中的材料厚度。通过结合虚拟测量薄膜厚度......
复享光学首次提出薄膜神经网络 3D NAND多层薄膜量测获突破(2022-12-05)
框架下开创性地发展了薄膜神经网络技术，极大地缩短了百层薄膜厚度的优化时间，相比于传统微扰差分的方法，其单次优化时间缩短为原来的2%。
薄膜神经网络技术原理
图片来源：Light: Advanced......
德国西克推出OD7000光谱共焦高精度位移传感器(2023-09-19)
太阳能硅片锯痕
● 检测透明薄膜厚度测量(单传感器头)
● 不透明薄膜厚度测量(两个传感器头)
03 性能......
复享光学首次提出薄膜神经网络 3D NAND多层薄膜量测获突破(2022-12-05)
案必须预先假定其为周期性结构才能适用。并且，较多的结构参数会导致优化时间长达几小时，相当于在一次迭代中进行上百次计算，大大增加了等待耗时。
可见，传统厚度量测方法在3D NAND领域存在较大的局限性，亟需开发新的膜厚量测方案，以满......
助力晶圆生产工艺改进，海洋光学参加2022中国半导体设备年会(2022-10-25 13:18)
数据分析速度，保证数据完整。
模块化光谱仪配置可用作QC工具或集成到生产线中
膜厚检测：晶圆膜厚测量系统半导体集成电路的生产以数十次至数百次的镀膜、光刻、蚀刻、去膜、平坦等为主要工序，膜层的厚度、均匀......
盖泽半导体首台国产SiC外延膜厚测量设备顺利交付(2023-02-17)
盖泽半导体首台国产SiC外延膜厚测量设备顺利交付;近日，据华矽盖泽半导体科技（上海）有限公司（以下简称“盖泽半导体”）消息，其自主研发生产的SiC外延膜厚测量设备GS-M06Y已正......
干货分享丨OSP表面处理PCB焊接不良原因分析和改善对策(2024-08-31 22:03:07)
及均匀性
OSP工艺的关键是控制好保护膜的厚度。膜厚太薄，耐热冲击能力差，在回流焊接时，膜层耐不住高温，裂解变薄，容易造成焊盘氧化，影响可焊性；膜厚太厚，在焊接时，不能很好的被助焊剂所溶解和去除，也会......
SiC 功率器件中的沟槽结构测量(2024-06-17)
器件，皮秒超声波为测量薄膜厚度和粗糙度提供了一种无损解决方案。
由于皮秒超声波的优点，它正在迅速取代更传统的方法，例如四点探头方法。其一，这些传统的测量方法具有破坏性；皮秒超声波则不然。第二，传统方法不提供直接的厚度......
一文看懂MOS器件的发展与面临的挑战(2017-07-10)
率，但是它的电阻率依然很高，厚度3KÅ的多晶硅的方块电阻高达36ohm/sq。虽然高电阻率的多晶硅栅对MOS器件的直流特性是没有影响的，但是它严重影响了MOS器件的高频特性，特别是随着MOS......
半导体FTIR外延膜厚量测设备实现新突破！(2024-09-18)
半导体FTIR外延膜厚量测设备实现新突破！;9月14日，盖泽华矽半导体科技（上海）有限公司（以下简称“盖泽半导体”），两台自主研发的FTIR膜厚量测设备GS-M08X，正式交付两家客户。
作为......
东京理科大学探讨全固态电池的双电层动力学(2023-03-08)
东京理科大学探讨全固态电池的双电层动力学;在向清洁能源转型的过程中，全固态锂离子电池（ASS-LIB）被视为富有前景，预计将广泛应用于电动汽车等领域。然而，这类电池的表面电阻高，使其......
oled与led的差异(2023-03-11)
方式，不需要背光灯。由于OLED的原材料是采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板，所以可以在电流通过时发光。而且OLED显示屏幕的厚度与传统屏幕的厚度相比，还能做得更轻更薄，可视角度更大，并且......
新技术让摩擦纳米发电机有望从雨滴中获取电能(2023-08-02)
的电荷会逐渐累积到饱和状态，此时，FEP 表面电荷的消散速度与液滴每次撞击产生的电荷量达到平衡。"
为了证明桥式阵列发生器与阵列下电极的成功结合，研究人员将传统的 D-TENG 与桥式阵列发生器进行了比较。研究......
白光干涉仪和激光共聚焦显微镜的区别(2023-03-08)
半导体硅片及器件、薄膜厚度、光学器件表面、其他材料分析及微表面研究），都需要测量断差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、体积、线宽等。
同为微纳米级表面光学分析仪器，白光......
STM32CubeMX系列 | 触摸屏(2023-03-23)
STM32CubeMX系列 | 触摸屏;1.触摸屏简介
目前最常用的触摸屏有两种：电阻式触摸屏和电容式触摸屏
1.1 电阻式触摸屏
电阻式的触摸屏结构如下图示，它主要由表面硬涂层、两个ITO层、间隔......
一文解析源测量单元（SMU）仪器(2023-05-23)
测得的电压（电压）I =源电流的大小（安培）t =样品厚度（cm）k =基于校正因子探针与晶圆直径的比率以及晶圆厚度与探针分离的比率
然而，对于诸如薄膜和涂层的材料，代替地确定薄层电阻或表面电阻率，其没有考虑厚度......
使用源度量单位仪器的工作原理(2023-05-24)
=在探头2和3之间测得的电压（电压）
I =源电流的大小（安培）
t =样品厚度（cm）
k =基于校正因子探针与晶圆直径的比率以及晶圆厚度与探针分离的比率
然而，对于诸如薄膜和涂层的材料，代替地确定薄层电阻或表面电阻......
薄膜电容为什么会发出噪音？是什么原因？(2023-08-22)
正常的质量好的薄膜电容都是按照严格的工艺标准来制作的，因此薄膜厚度均匀，表面光滑，这样的薄膜电容质量好，符合生产标准，产生的噪音相对来说很小。
而有些商家为了减少生产成本，就用低成本质量差的薄膜原料，成本......
室温打印金属氧化物薄膜实现，可制造坚韧透明的柔性电路(2024-08-16)
有金属特性，导电性极高。
此外，研究发现，这些薄膜在高温下仍能保持其导电性能。如果薄膜厚度为4纳米，导电性能可稳定保持到接近600℃；如果薄膜厚度为12纳米，则可稳定保持到800℃。
研究......
800V平台下新能源汽车的绝缘设计技术探讨(2024-04-03)
一般考虑污染物等级，电控一般是2级，电机是3级，下面是污染等级的定义：
05
问
漆包线PDIV的选择？
答
对于800V平台，漆包线的选型与400V平台截然不同，不同点在于漆膜厚度与漆膜材料。
上文......
上海微系统所在300mm SOI晶圆制造技术方面实现突破(2023-10-20)
(b)展示了多晶硅剖面TEM结构；图1(c)为多晶硅薄膜及衬底纵向电阻率分布。
图1. (a) 多晶硅薄膜表面SEM图片；(b) 多晶硅薄膜近表面电阻率分布；
图 (c) 多晶硅薄膜及衬底纵向电阻......
上海微系统所在300 mm SOI晶圆制造技术方面实现突破(2023-10-23)
；图1(b)展示了多晶硅剖面TEM结构；图1(c)为多晶硅薄膜及衬底纵向电阻率分布。
图1. (a) 多晶硅薄膜表面SEM图片；
(b) 多晶硅薄膜近表面电阻率分布；
图 (c) 多晶硅薄膜及衬底纵向电阻......
高压XLPE电缆缓冲层故障分析(2022-12-15)
检测表明,截取电缆段烧蚀均能检测出,但检测效果受铝护套影响。
2.4带材检测情况
结合故障相电缆拆解过程中发现的阻水带异常情况,对该线三相电缆进行了绝缘厚度、偏心度、机械性能、热延伸、半导电阻水带电阻......
通威异质结166－9BB双面电池(2023-08-28 10:11)
通威异质结166－9BB双面电池;产品介绍
异质结166-9BB双面电池
外形尺寸：166.10mm*166.10mm±0.25mm
外形厚度：150±15μm......
中国科学家研究铁电隧道结存储器获新进展(2024-03-18)
是衡量隧道结性能的核心指标，它与界面电荷屏蔽效应、铁电极化强度等密切相关。目前一般通过多样化的电极工程调制电荷屏蔽效应，提升隧穿电致电阻，但由于制备工艺和定量研究手段的限制，铁电层的电极化强度如何定量影响隧穿电致电阻......
光纤光谱仪原理_光纤光谱仪的用途(2023-04-26)
lumen，色轴X， Y， Z， x， y， z， u， v和色温。
3、薄膜厚度测量
光学的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理，可以测量的膜层厚度10nm-50μm，分辨率为1nm。薄膜......
存储控制器FSMC与触摸屏介绍(2024-02-22)
的ITO层看作Y层，每一层都会加上一个电压，ITO层是均匀的导电物质，那么整个一层的电阻是呈线性排布，不同地方的电阻大小不同。流过ITO层的电流恒定不变，假设对X层和Y层都加上一个5V电压，当有......
通威单晶210－12BB双面电池(2023-08-28 10:08)
通威单晶210－12BB双面电池;通威太阳能深度切入太阳能发电核心产品的研发、制造和推广，是高科技晶硅电池生产企业，现拥有合肥、双流、眉山、金堂四个基地及通合项目，在职员工12000余人，现有......
Brewer Science：扛着摩尔定律前进的材料供应商(2022-12-29)
试剂通过载片上的小孔将材料溶解，便可解开。适合科研机构。
热滑动解键合——当温度达到一个阈值（150℃甚至200℃），所用的键合材料便会流动，随后便可进行滑动解键合。其中的解开速度与材料厚度......
硅钢片表面电阻测试仪TS1700电工钢表面绝缘电阻测量装置(2023-04-13)
硅钢片表面电阻测试仪TS1700电工钢表面绝缘电阻测量装置;
硅钢片表面电阻测试仪TS1700
硅钢片表面电阻测试仪TS1700是一套专用于测量电工钢片涂层绝缘电阻性能的设备，主要由测试装置(10......
北京大学研究团队在氧化物半导体器件方向取得系列重要进展(2023-02-21)
高迁移率的非晶氧化物半导体沟道。提出了采用ITO（铟锡氧化物）作为接触中间层降低金属接触势垒高度的有效方法，获得了低至278Ω·μm的接触电阻，达到国际最优水平。所制......
持股20.45%，中微半导体投资这家设备公司(2021-03-18)
增资完成后，上海睿励注册资本增加至4.28亿元，公司持有上海睿励股权比例为20.4467%。
资料显示，上海睿励成立于2005年6月，致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备以及硅片厚度......
3D打印微流控气体探测器助力车内VOC监测(2023-12-28)
的分析物购自Sigma Aldrich，纯度≥ 99.0%。
首先，研究人员评估了薄膜厚度对传感器原始响应的影响（图2）。增加PDMS厚度被证明具有双重效应。对于相同的表面性质，较厚的聚合物薄膜有助于实现（i）更长......
厚度仅100nm！新型超薄晶体薄膜半导体被成功研制(2024-07-19)
名为三元石英的晶体材料，成功研制出一种新型超薄晶体薄膜半导体。
薄膜厚度仅100纳米，约为人头发丝直径的千分之一。其中电子的迁移速度创下新纪录，约为传统半导体的7倍。这一......
通威单晶166－9BB双面电池(2023-08-28 09:48)
通威单晶166－9BB双面电池;通威太阳能深度切入太阳能发电核心产品的研发、制造和推广，是高科技晶硅电池生产企业，现拥有合肥、双流、眉山、金堂四个基地及通合项目，在职员工12000余人，现有......
通威单晶182－10BB双面电池(2023-08-28 10:02)
通威单晶182－10BB双面电池;通威太阳能深度切入太阳能发电核心产品的研发、制造和推广，是高科技晶硅电池生产企业，现拥有合肥、双流、眉山、金堂四个基地及通合项目，在职员工12000余人，现有......
设备业繁荣期冲进世界前十，ASM的ALD和EPI有何特色？(2023-01-07)
再通入另一种前驱体B，与表面的一层A反应，同样需要惰性气体将B吹走，这些过程构成一个生长循环，从而形成一层均匀的薄膜，而每个循环生长的薄膜厚度一致，可以通过对生长循环数的控制，来实现对薄膜厚度......
相关企业
;深圳市瑞立诚科技有限公司;;代理:ITO导电膜: 亮面防刮伤；亮面防牛顿环；雾面防牛顿环,三种类型. ITO层面电阻：400-500欧姆 电阻均匀稳定.线性稳定. 产品幅宽：400MM 406MM
式触摸屏,希望在ITO FILM上能为各家触摸屏厂家提高自身的竞争能力. ITO导电膜: 亮面防刮伤；亮面防牛顿环；雾面防牛顿环,三种类型. ITO层面电阻：400-500欧姆 电阻均匀稳定.线性
定性：140℃,30min电阻不改变 热收缩率：≤1% 附着力：优 厚度:125um、175um 宽度：10cm-65cm 透光率:≥85%
面板也约有10年经验，举凡电阻式/投射电容/表面电容/五线式电阻都有相当累积测试的经验，深受国内外厂商的肯定及支援。 同时，我们代理的美国IDI探针，其适用范围更广泛如触控面板用ITO材料、直线检测或电阻
世界上专业生产涂镀层测厚仪最早的厂家之一, 其电镀膜厚仪占世界 80％市场， 德国菲希尔 FISCHER 已成为镀层厚度测量和材料测试仪器领域公认的领导者，行业中无人能及 XUL是膜厚仪系列中比较经济使用型的机型，有需要的有友请来电咨询希望我们能成为长期的合作伙伴
;深圳金东霖科技有限公司;;金东霖公司是德国菲希尔FISCHER膜厚测试仪、精密测试仪器代理商，德国菲希尔集团附属成员，在中国华南地区独家代理菲希尔FISCHER膜厚测试仪系列。此仪器主要用于镀层或涂层厚度
;东莞景富防静电设备厂;;离子风机、离子风枪、离子风咀、离子棒、离子风铜棒、离子风帘、离子风蛇、离子风鼓、静电产生器、除静电网、表面电阻测试仪、人本综合测试仪、重锤表面电阻测试仪、手腕带测试仪
;香港金霖电子有限公司;;金霖电子深圳代表处厂价大量提供高精度菲希尔双探测器电镀膜厚测试仪.金霖电子（香港）限公司是德国菲希尔 FISCHER膜厚测试仪华南代理主营德国菲希尔 FISCHER
铃寅，日东，帝人，尾池等保持长期友好合作关系。 我司产品涉及电容ITO膜，电阻ITO膜，镀铜ITO膜等系列。 公司产品被广泛应用在LCD屏幕和触控面板，ITO导电
器、PTC/NTC热敏电阻器等主体涂覆。技术指标：颜色：绿色灰色黑色红色。光泽：平光。固化条件：（℃/min）150-170/3-7。绝缘性：膜厚0.3mm600v。 膜厚0.4mm1000v。耐燃