12月28日,广州增芯科技有限公司举行首台生产设备搬入仪式。本次搬入设备是由中微半导体设备(上海)有限公司制造的Primo D-RIE®刻蚀设备反应台,也是增芯12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线项目搬入的首台生产设备。
该设备的搬入,是继项目“920封顶”以来的重要交付,标志着增芯项目一期工程土建和机电安装已经完工,项目由建设期正式转入运营前的生产准备阶段。
此前,9月20日,广州增城智能传感器产业园发布暨增芯项目封顶活动在增城开发区增芯产业项目园举行。增芯项目,全称为增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目。
增芯项目占地面积达370亩,分两期建设。2022年12月,包括主厂房在内的一期项目宣布动工,到今年9月20日主体结构封顶,用时仅9个月零6天。
当时,增芯科技总经理张亮透露,项目目前已转入机电安装阶段,计划今年12月开始设备搬入及装机,预计2024年6月通线,2025年12月达成月产能2万片目标。
据了解,增芯12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线新建项目,一期总投资70亿元,项目建成后将具备年产24万片12英寸晶圆的生产能力,产品主要应用于汽车电子、物联网、类工业、消费电子等领域,是相关领域产品性能表现的决定因素之一。
资料显示,增芯科技是一家致力于建设国内第一家专业定制化12英寸智能传感器芯片制造企业,以力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套ASIC芯片为主要产品。
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