据黑龙江日报报道,哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司(以下简称“科友半导体”)开发的高性能碳化硅长晶装备和高质量衬底产品实现规模化生产,形成了系列自主知识产权,获得授权专利达133项,并实现规模销售。
2018年,哈尔滨工业大学教授赵丽丽带领技术团队成立科友半导体,开展碳化硅高端装备设计及晶体材料研究。目前科友半导体已累计投入研发经费近2000万元,获得授权专利达133项。
科友半导体解决了大尺寸碳化硅单晶制备易开裂、缺陷密度高、生长速率慢等技术难题,突破了碳化硅衬底产业化系列关键技术,完成了6英寸设备研制、生产线搭建、单晶衬底材料制备等,并在此基础上进一步实现了8英寸碳化硅单晶衬底制备。
科友半导体建设的省重点项目第三代半导体产学研聚集区一期工程已投入生产,碳化硅长晶炉、籽晶、衬底等产品受到市场广泛关注。根据报道,第三代半导体产学研聚集区二期工程将于近期开工建设,建成后将实现年产导电型碳化硅衬底15万片,科友的发展目标是成为全球第三代半导体关键材料供应商。
据哈尔滨新区发布此前消息,2020年7月3日,科友半导体产学研聚集区项目在哈尔滨新区江北一体发展区开工建设。科友半导体产学研聚集区由科友半导体和哈尔滨新区共同出资建设。
该项目一期计划投资10亿元,主要建设中俄第三代半导体研究院、中外联合技术创新中心、科友半导体衬底制备中心、科友半导体高端装备制造中心、国际孵化基地、科友半导体产品检验检测中心、人工宝石展览馆等项目。项目全部达产后,最终形成年产高导晶片近10万片,高纯半绝缘晶体1000公斤的产能;PVT-SIC晶体生长成套设备年产销200台套。
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