浦东科创集团官方公众号消息，近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微半导体”）完成对睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“上海睿励”）1亿元人民币增资。

据介绍，上海睿励成立于2005年6月，致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，是国内少数几家进入国际领先的12英寸生产线的高端装备企业之一，并且是国内唯一进入韩国某领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。其主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。

本轮增资之前，上海睿励的股东阵容包括浦东科创、张江科投、国家大基金、上海创投、上海国盛等一众知名产业投资机构。其中，浦东科创作为上海睿励第一大股东，在上海睿励的发展中起到关键的作用。早在2009年，浦东科创就投资上海睿励成为其早期股东之一，并在随后十多年数次增资上海睿励。

浦东科创集团新闻稿中指出，上海睿励引入中微半导体这一重量级产业资本，一方面是基于中微半导体以及尹志尧先生的创业经验和行业地位；另一方面，也是考虑到两者合作能形成更高层次的产业链整合，进而帮助中微半导体、浦东乃至上海的半导体高端装备做大做强。中微半导体也将抓住与上海睿励合作这一关键机遇，给予上海睿励资金、技术、管理等全方位的支持。

去年12月28日，中微半导体公告披露了这次增资事项。公告显示，中微半导体拟以现金方式向上海睿励增资1亿元，认购上海睿励新增注册资本8333.33万元，认购单价为1.2元/股（注册资本）。本次增资完成后，上海睿励注册资本增加至4.28亿元，中微半导体持有上海睿励股权比例为20.4467%。

中微半导体在公告中表示，本次投资上海睿励将使公司能够布局集成电路工艺检测设备领域。此外，公司同上海睿励的客户和供应商有高度重叠，通过本次投资，能进一步形成产业链协同效应。投资上海睿励是公司聚焦并落实高端芯片设备战略的又一步骤，系公司为完善业务布局而进行的投资。

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