据经济导报消息,10月16日,山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目通线仪式在德州天衢新区举行,该项目一期投资25亿元,达产后可实现12英寸抛光片月产10万片,是中国有研布局的重点项目,也是山东省内第一条12英寸集成电路用大硅片生产线。
12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍,可使用率是8英寸的2.5倍左右,单片可产出的芯片数量增加,经济效益明显,随着集成电路制程和工艺的发展,硅片趋向大尺寸化和制程精细化,12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。
德州集成电路产业历经10年发展,目前,已初步形成涵盖半导体材料、芯片设计、封装测试、终端应用等环节的集成电路产业链。电子信息产业入选山东省战略性新兴产业集群和特色产业集群,正争创国家级战新产业集群。近五年来,半导体产业产值年均增长近20%。德州集成电路产业已成为山东半导体产业高质量发展的重要增长极。
德州天衢新区是德州发展半导体产业的主阵地,目前,德州天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”,打造了占地800余亩,总投资93.4亿元的中国集成电路关键材料(德州)基地,包括8英寸、12英寸硅片、高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅材料等七个项目。全部达产后将形成年产6英寸硅片180万片、8英寸硅片276万片、12英寸硅片360万片、12-18英寸硅单晶504吨、高纯溅射靶材4.3万块、高纯贵金属213吨,将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地,使山东省跻身硅材料产业国内第一方阵、靶材产业遥遥领先。
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