近日,山东省发布了《山东省新材料产业科技创新行动计划(2025—2027年)》(以下简称“《行动计划》”),提出实施标志性产业链战略材料攻坚行动,在新一代电子信息材料方面,研究大尺寸碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料制备技术和装备,突破碳化硅、氮化镓衬底超精密高效加工核心技术。攻克超宽禁带金刚石单晶、氮化铝生长及器件技术,突破大口径高质硅单晶、高端光刻胶制备技术,满足面向集成电路、芯片产业领域的自主可控技术需求。
其中与集成电路密切相关的内容如下:
在重点任务上,实施产业发展优势基础材料筑基行动。其中在人工晶体领域,创新大尺寸晶体生长、晶体缺陷抑制、器件设计等技术,实现原创理论突破和技术自主可控,重点发展激光与非线性光学晶体、压电/铁电晶体、激光自倍频晶体、电光晶体等,满足先进战略装备和国家重大工程需求。
在先进陶瓷领域。攻克陶瓷精密成形、增材制造、超精密加工、器件设计等行业关键核心和共性技术,重点发展极限场景下的新型结构和功能陶瓷材料,实现高端粉体、先进陶瓷制品、高端应用等融通发展,打造先进陶瓷创新高地和产业高地。
实施标志性产业链战略材料攻坚行动,发展新一代电子信息材料。研究大尺寸碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料制备技术和装备,突破碳化硅、氮化镓衬底超精密高效加工核心技术。攻克超宽禁带金刚石单晶、氮化铝生长及器件技术,突破大口径高质硅单晶、高端光刻胶制备技术,满足面向集成电路、芯片产业领域的自主可控技术需求。
发展高端装备关键材料。研发金属、复合材料和构件制备与成形、全流程高可靠制造等关键技术,发展结构材料快速成型、增材制造、梯度冶金、异材复合、先进粉末冶金等技术及智能化装备,满足工业母机、交通与动力装备、船舶和海工装备等领域需求,支撑材料和关重件的规模化高端高值应用。
实施未来产业发展前沿材料布局行动,发展低维材料。攻坚低维材料规模化制备、批量无损转移等关键技术, 重点发展二维半导体、二维量子材料、碳纳米管、石墨烯、石墨炔、金属纳米材料等前沿低维材料 ,促进在后摩尔时代集成电路、高速飞行器等领域的应用。
在重点举措上,提升新材料产业创新策源能力,推动创新平台提质升级。在高端装备涂料、含氟功能膜材料、晶体材料等领域,全力创建4—6家全国重点实验室、国家技术创新中心和国家制造业创新中心等国家级重大创新平台。在铝材料、核装备材料等领域新建山东省实验室等。支持泉城实验室、青岛新能源省实验室打造人才效能提升重点平台,积极开展电子信息、新能源等材料研发。加快省重点实验室重组,在新材料领域建设50家左右省重点实验室。
培育高质量新材料产业集群中提到,培育壮大产业集群。瞄准产业链薄弱环节,引育100家以上链主、重点和配套企业,提升核心配套能力。 支持烟台化工新材料集群争创国家先进制造业集群,推进济南碳化硅半导体、潍坊光电子、德州集成电路材料产业集群建设 ,支持烟台、滨州、聊城打造高端铝产业集聚区,支持淄博加快建设氟、硅新材料特色产业基地,推动青岛合成橡胶、威海高性能碳纤维及复合材料产业集聚发展,支持济南、日照、临沂、潍坊特种钢铁和济宁稀土磁性材料产业集群化发展,打造一批具有核心竞争力的产业集群。
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