氖气价格“过山车”式飙升,三星吃不消考虑用回收氖气:明年满足 75% 光刻需求

2024-03-08  

IT之家 3 月 8 日消息,由于俄乌冲突,价格自 2022 年以来一路飙升,2021 年韩国进口价格为 58 美元 / 升,而 2022 年飙升至 1612 美元 / 升。最新消息称三星现在计划在中使用回收的。

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根据 The Korea Economic Daily 报道,三星正考虑从明年开始,在中使用回收的,这也让其成为业内首家在光刻工艺中使用回收氖气的公司。

报道进一步指出,三星电子已与当地一家材料公司联手开发相关装置,用于从激光废料流中捕捉氖气,并通过提纯等方式回收氖气。

三星计划明年开始在光刻过程中使用回收氖气,占比 75%。

根据韩国海关总署的数据,2023 年韩国氖气进口总量将达到 102782 升,进口额达到 1680 万美元(IT之家备注:当前约 1.21 亿元人民币)。

氖气是一种稀有的惰性气体,也是光刻工艺中不可或缺的原材料。它用于产生激光,将电路图案转移到基板上,同时也广泛应用于半导体以及显示器等其他行业。


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