美西时间 9 月 12 日，英特尔宣布已同意将 IMS约 10% 的股份出售给台积电。该交易预计将于 2023 年第四季度完成。

　　此次台积电对 IMS的投资估值约为 43 亿美元，与此前英特尔向贝恩资本出售其股权的估值一致。英特尔将保留 IMS 的多数股权，IMS将继续作为前者的独立子公司并在其首席执行官Elmar Platzgummer 的领导下继续运营。

　　Platzgummer 表示：“我们很高兴引入新投资者，帮助我们巩固 IMS 在多光束掩模写入领域的领导地位，这是前沿半导体技术创新的支柱。”

　　台积电业务开发高级副总裁Kevin Zhang表示：“台积电自 2012 年以来一直与 IMS 合作开发用于先进技术节点的多光束掩模写入器。这项投资延续了台积电与 IMS 之间的长期合作伙伴关系，以加速创新并实现更深入的跨行业合作。”

　　英特尔称，贝恩资本和台积电的投资共同为 IMS 提供了更大的独立性，并增强了业界对 IMS 面临的重大机遇的信心。这将帮助 IMS 加速其发展并推动光刻技术创新，从而使该行业能够过渡到新的图案化系统，例如高数值孔径(高NA)EUV。

　　IMS，全称为IMS Nanofabrication Global, LLC ，系英特尔控股子公司。自 2015 年发明多电子束技术并推出首款商用多光束掩模写入器以来，这家总部位于奥地利维也纳的 IMS 一直是先进技术节点多光束掩模写入领域的行业领导者。其第一代多光束掩膜写入器MBMW-101已在世界各地成功运行。第二代多光束掩模写入器MBMW-201，已于2019年第一季度进入5nm技术节点的掩模写入器市场。今年，IMS 推出了 MBMW-301，这是一款第四代多光束掩模写入器。

　　英特尔最初于 2009 年投资 IMS，并最终于 2015 年收购了该业务。自收购以来，IMS 为英特尔带来了显着的投资回报，同时其员工和生产能力增长了四倍，并交付了另外三代产品。

　　今年6月，英特尔宣布达成协议，将IMS约20%的股份出售给贝恩资本，交易对 IMS 的估值约为 43 亿美元。贝恩资本 (Bain Capital) 合伙人 Marvin Larbi-Yeboa 表示：“作为半导体制造和纳米技术行业新兴技术的全球领导者和创新者，我们相信，随着更多芯片产能的释放，IMS将充分利用其领先的竞争地位、技术差异化和尖端产品能力，获得长期利好。”

　　如今，随着 EUV 技术在前沿技术中得到广泛采用，创建先进 EUV(极紫外光刻)掩模所需的多光束掩模写入工具已成为半导体制造生态系统日益重要的组成部分。此次台积电投资将使 IMS 通过加速创新和实现更深入的跨行业合作，来抓住多光束掩模写入工具的重要市场机会。到 2030 年，全球半导体市场预计将达1 万亿美元。这一增长的关键推动因素是光刻技术的进步，例如 EUV，这对于支持这些要求苛刻的应用的前沿节点至关重要。这些光刻技术的进步依赖于先进的掩模写入工具，这使得 IMS 的领先技术成为整个生态系统创新的核心。