今年2月份,ASML在荷兰总部向媒体公开展示了其最新一代的High-NA EUV光刻机。作为2nm及以下先进制程的必备“武器”,High-NA EUV虽然性能强大,但价格却十分昂贵,并且安装起来也非常耗时。
据官方透露,该设备单台售价3.5亿欧元(约合人民币27.4亿元),重量约为150吨,这个庞然大物相当于两架空客A320客机的总重,大小等同于一台双层巴士。而全套系统更是需要250个货箱来装运,装机时间预计需要250名工程人员、历时6个月才能完成。
据悉,英特尔为了能够从台积电手中重新夺回芯片制造技术的领先地位,不惜拼下血本抢购,率先拿下了全球首台High-NA EUV光刻机。为了见证“史上最贵”,英特尔分享了其位于美国俄勒冈州的D1X工厂内、ASML工程团队安装调试该设备的部分画面。
从视频画面可以看到,该设备的相关组件是通过空运从荷兰运到美国的,因此相比海运可以将进一步缩短交货时间。
此前,外界曾预计,该设备可能将会被英特尔用于其最先进的Intel 18A制程量产。
不过,英特尔CEO帕特·基辛格在日前的财报会议上表示,Intel 18A预计将于2024年下半年实现制造就绪,但并不是采用High NA EUV量产,该设备将会被应用于1.8nm以下的挑战。至于大规模量产,可能还要等到2025-2026年左右才能实现。
随着英特尔的积极入局,最近台积电、三星、SK海力士等其他晶圆代工大厂也纷纷订购了High-NA EUV。很明显,几大巨头都在争相部署2nm工艺节点,抢夺这一关键先机。
未来,英特尔能否如愿在2nm芯片上打败台积电,谁又能在这一赛道上脱颖而出,我们拭目以待!