美国弗吉尼亚理工学院、州立大学和NexGen电力系统公司首次对垂直(GaN)功率晶体管的动态电阻( RON)和阈值电压(VTH)稳定性进行了实验表征。研究人员研究了额定电压高达1200V(1.2kV)的NexGen(JFET)器件。
本文引用地址:动态 RON描述了开关晶体管的电阻相对于稳定直流状态下的电阻的增加。该团队评论道:“这个问题可能会导致器件的导通损耗增加,并缩短器件在应用中的寿命。”
研究人员将NexGen的650V/200mΩ和1200V/70mΩ级GaN JFET(图1)的性能与商用650V和1200V碳化硅(SiC)金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET,IMZA65R083M1H,C3M0075120D)以及具有肖特基型p-GaN栅极的650V GaN高电子迁移率晶体管(SP-HEMT,GS-065-011-1-L)的性能进行了比较。
图1:(a)垂直GaN JFET的示意图。在25-150°C下,以25°C为增量阶跃的1.2kV器件的特性:(b)对数和线性刻度上的传输、漏极电流(ID)与栅极电势(VGS)的关系;(c)IG与VGS的关系;以及(d)输出。
NexGen的器件是在100mm的体衬底上制造的。鳍状通道的高度约为1μm,宽度约为亚微米。栅极由鳍片之间的注入p-GaN区域组成。对于650V和1200V器件,鳍状通道和漏极之间的漂移区分别约为8μm和10μm。相应的雪崩击穿电压估计为800V和1500V。
1.2kV JFET的阈值电压(VTH)在25°C时为1.6V,在150°C时降至1.45V。在20mA IG 下, RON在25°C时约为70mΩ,在150°C时增加到150mΩ。
图2:650V额定(a)SiC MOSFET,(b)GaN JFET,(c)GaN SP-HEMT和(d)1200V GaN JFET的动态 RON和归一化动态 RON与VIN的关系,脉冲宽度为3μs。(e)和(f)1200V GaN JFET在800V VIN(10A稳态)下的动态 RON性能,分别与1μs脉冲峰值漏电流和TC(有/无冷却)的关系。
研究人员使用带有主动测量电路的连续硬开关双脉冲测试(DPT)来评估动态 RON性能(图2)。这些器件采用双扁平无引线(DFN)封装,使用热成像确定外壳温度( RON)。风扇冷却应用于SiC MOSFET和GaN SP-HEMT比较器件,但不应用于GaN JFET。根据所测 RON下的静态 RON对 RON值进行归一化。
研究人员评论道:“结果表明,650V和1200V GaN JFET都是动态 RON自由型的。”
研究人员还进行了静态应力测试,以确定 RON和VTH值在功率器件大部分关闭的应用场景下的稳定性。1200V JFET的最大VTH和 RON偏移分别为0.05%和1.38%。相比之下,650V GaN SP-HEMT的相应偏移量分别为20%和10%。
研究人员还比较了JFET和HEMT结构的模拟,以分析动态 RON和静态稳定性性能的差异。该团队认为,关键差异在于峰值电场的位置,通常出现在边缘终止附近。在HEMT结构中,峰值电场距离器件表面仅20-30nm,而在JFET中,峰值电场埋在距离表面约1μm处。结合体GaN上生长的外延层中的低缺陷密度,表面和缓冲陷阱在很大程度上被抑制,减少了状态变化的延迟,几乎消除了GaN JFET中的动态 RON。
研究人员补充说:“最后,与HEMT中的p-GaN/AlGaN/GaN异质栅极相比,JFET中的本征p-n结栅极没有能带不连续性,从而能够实现更高效的载流子供应或提取(特别是在SP-HEMT中p-GaN的肖特基接触的情况下)。”
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