据官微消息,12月10日,“8英寸衬底材料装备开发及产业化工艺研究”项目阶段验收评审会召开。
本文引用地址:会上,以黑龙江省科学院原院长郭春景研究员为组长的评审专家组认为,圆满完成了计划任务书2023年度阶段任务,成功获得了8英寸单晶生长的新技术和新工艺,建立了衬底生产的工艺流程,制定了相关工艺流程的作业指导书,一致同意项目通过阶段验收评审。
据了解,8英寸碳化硅衬底材料装备开发及产业化工艺研究项目是2021年哈尔滨市科技专项计划项目,由哈尔滨承担,旨在推动8英寸碳化硅装备国产化和碳化硅衬底产业化,获得高性能8英寸碳化硅长晶装备和低缺陷碳化硅衬底,具备批量制备能力并形成自主知识产权。项目的阶段验收成功通过,表明科友在8英寸碳化硅衬底产业化方面迈上了新的台阶。
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