日前，北京赛微电子股份有限公司(以下简称“赛微电子”)发布公告称，其控股子公司赛莱克 斯微系统科技(北京)有限公司(简称“赛莱克斯北京”或“北京 FAB3”)以 MEMS ( 微机电系统)工艺为某客户制造的系列 BAW(Bulk Acoustic Wave,带谐振腔体声 波)滤波器完成了小批量试生产阶段。

　　该公司称，2023 年 7 月 15 日，该客户已与赛莱克斯北京同步签署《长期采购协议》， 赛莱克斯北京开始进行 BAW 滤波器的商业化规模量产。 尽管已在多领域实现 MEMS 制造技术的积累和突破，但该公司北京 FAB3 在整体 上仍处于运营初期，产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程，产能扩充及 产量目标的实现尚需一定时间。

　　此前，赛微电在2023 年第一季度报告指出，今年 1 月，该公司赛莱克斯北京 FAB3 代工制造的某款 MEMS 生物芯片通过了客户验证，该客户已同步签署试产订 单，启动首批 MEMS 生物芯片 8 英寸晶圆的小批量试生产。

2023 年第一季度报告

　　2022 年 6 月 12 日，赛微电子发布公告称，控股子公司赛莱克斯北京(北京FAB3)代工制造的某款 BAW(Bulk Acoustic Wave,带谐振腔体声波滤波器，包括 BAWSMR-固体安装谐振器和 FBAR-薄膜体声波谐振器)通过了客户验证，经过对该批次 BAW 滤波器进行频段抑制、带内插损、电压驻波比等性能测试及高加速温湿度应力、高低温贮存寿命、机械及跌落冲击等可靠性验证，性能、良率均达到或优于设计指标要求，与国际射频巨头厂商的同类别产品指标相当。该客户已 同步签署试产订单，北京 FAB3 启动首批 BAW 滤波器 8 英寸晶圆的小批量试生产。

　　根据披露，赛莱克斯北京是由赛微电子全资子公司北京赛莱克斯国际科技有限公司与国家集成电路产业投资基金股份有限公司共同投资的 8 英寸 MEMS 国际代工线项目公司，主要从事 MEMS的生产代工业务。

　　由于瑞典战略产品检验局(the Swedish Inspectorate of Strategic Products， 简称为 ISP)于 2021 年 10 月否决了该公司全资子公司 Silex Microsystems AB(简 称“瑞典 Silex”)于 2020 年 11 月向瑞典 ISP 提交的其向北京 FAB3 提供技术 服务与支持的许可申请，瑞典 Silex 与北京 FAB3 于 2018 年签署的《技术服务协 议》及《许可协议》被迫中止。 在此背景下，北京 FAB3 继续加大研发投入，自主积累基础工艺，积极探索 各类 MEMS 器件的生产诀窍，尤其是中国本土客户提供优质的 MEMS 工艺开发及晶圆制造服务，积极推动公司在本土形成和提升自主可控的 MEMS 生产制造能力，加速本土生产替代。

　　滤波器是射频前端中最重要的分立器件。其作用为使信号中特定频率成分通过，将其余频段的信号滤除，从而提高信号的抗干扰性及信噪比，包含于射频前端中，被广泛应用于通讯终端、通讯基站、回传链路、卫星通信、航空航天、有线宽带等各个通信相关的领域。而SAW 滤波器即声表面波滤波器，是当前主流的声学滤波器，主要应用于低频段场景。随着现代无线技术的进步以及 5G 基站的不断发展，对于滤波器的质量要求越来越高，也因此带动了 BAW 滤波器的快速发展。

　　根据 IDC预测，2024年全球滤波器市场规模将达到 183.3 亿美元。由于中国大力支持发展 5G 技术，同时作为滤波器消费大国，预计市场份额不断提升，市场规模在 2024 年达到56.7 亿美元。

　　在市场渗透率方面，由于目前 SAW 的成本更低，技术要求更为简单，短期内仍会是滤波器市场的主力产品，但是SAW 滤波器在高频段的输出表现不佳，会逐渐被 BAW 滤波器替代。根据 IDC预测，随着BAW滤波器的市场渗透率会不断提升，预计在 2024 年达到 65%。

　　此外，据财通证券资料显示，目前全球 SAW 滤波器产品供给中，中国国内市场份额大约只占了 10%左右，大部分由国外厂商供应。其中，Murata 、TDK、Taiyo、Skyworks 四家公司合计的市场占有率达到 95%。

　　据悉，SAW 滤波器的专利竞争布局集中在 2000 年至 2005 年，自 2006 年后行业格局相对成熟，专利竞争的激烈程度逐渐减弱。考虑到近些年专利保护期(专利保护期为20 年)逐渐结束，中国本土国内厂商有望加速 在SAW 滤波器市场的争夺。在 BAW 滤波器市场，国际市场中日系厂商出于业务稳定的角度，对 BAW 滤波器的专利布局较少，目前 BAW 滤波器的市场份额由 Broadcom 一家独大，且占据了 87%份额，Qorvo 则占据 8%份额，两家公司的合计市场占有率达到了 95%以上。

　　尽管具体细节尚未被披露，但此次赛微电子BAW滤波器完成了小批量试生产阶段，标志着本土在 MEMS 高频通信 器件领域的专业制造能力达到一个新的里程碑。要知道，从射频前端市场价值来看，根据 Qorvo 的预测，滤波器价值占比将提升至 66%，是射频前端中价值最高的细分领域，而BAW正成为滤波器的市场发展重点。