【导读】据麦姆斯咨询报道，Silicon Sensing Systems Ltd.（简称：Silicon Sensing）首席工程师Mark Marshall博士将在为期四天（3月28日至31日）的“IEEE Inertial international symposium on inertial sensors and systems”研讨会上发表一篇关于该公司最小的Pinpoint系列MEMS陀螺仪的构造和性能的论文。

Mark Marshall博士将探讨这款MEMS陀螺仪的工作原理，并详细介绍其性能规格和Pinpoint结构，包括MEMS振动环的设计与制造。此外，还将概述该MEMS陀螺仪在平面和正交安装中的性能范围。

Mark Marshall博士解释说：“PinPoint是一种Coriolis振动陀螺仪，其大小只有您最小的指甲盖大小（约5mm x 6mm），可在广泛的运动传感应用中提供强大的惯性性能优势：从工业机器人到卫星控制，从自主车辆导航到运动跟踪，从飞机姿态航向和参考系统（AHRS）到精准农业。该论文研究了Pinpoint如何以如此小的外形尺寸实现这种高性能。”

该论文还将阐述Pinpoint系列MEMS陀螺仪中的执行器和传感器采用的PZT薄膜特性，并概述这给陀螺仪带来的关键性能优势。

Mark Marshall博士说道：“Pinpoint系列是惯性市场的核心产品，使用方式非常灵活，体积小巧、可靠且成本低。它们已经在全球许多市场上被使用，潜力是无限的，我们经常被邀请讨论我们甚至没有考虑过的新应用！”

Mark Marshall博士

Mark Marshall博士于2023年2月被任命为Silicon Sensing首席工程师，他于2017年加入Silicon Sensing，担任众多惯性传感器项目的首席工程师。此前，Mark Marshall博士在腹腔镜电外科器械领域担任高级研究工程师，拥有多项专利和论文。他拥有计算机辅助工程一级荣誉学位、先进制造系统硕士学位和剑桥大学博士学位。

Silicon Sensing是硅基MEMS陀螺仪、加速度计和惯性测量系统的市场领导者，专注于高性能、可靠性和经济性惯性传感器产品。该公司已向全球数千家客户交付了超过2500万颗MEMS传感器，并且在惯性传感领域拥有可追溯至100多年的传统。如今所有的惯性传感器和系统都是基于内部的专利设计，这些设计是在Silicon Sensing最先进的MEMS晶圆厂制造的。

来源：MEMS

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