2024年5月27日

佳能发售用于生产车载大型特殊显示器及智能手机显示器的FPD新曝光设备

更大的曝光幅度 更强的生产性能 

佳能将在2024年6月上旬发售支持使用第6代玻璃基板※1的FPD（Flat Panel Display）曝光装置新产品MPAsp-E1003H。其拥有更大的曝光幅度，生产能力将进一步提升。

近年来，随着自动驾驶技术的发展和电动汽车市场的扩大，对于各式各样的车载显示器的需求量越来越高。市场对于车载和智能手机的显示器，要求更轻薄、轻量，高精度，同时面板制造中不仅要确保品质，而且追求更高的生产效率。新品“MPAsp-E1003H”依托曝光幅度的扩大技术以及各种新技术的应用，在取得更好的套刻精度的同时还能大幅提升生产效率。

支持使用第6代玻璃基板的最大※2的曝光幅度，生产性能提升

新产品采用了投影光学系统，可实现1.5μm※3（L／S※4）的高分辨率，且一次曝光幅度扩大约1.2倍※5。该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”（2022年7月发售），可用于生产使用第8代玻璃基板※6一次性曝光、用于大型电视等的65英寸面板。在一块玻璃基板上，如果生产智能手机面板等产品，此前需要6shot曝光，而新产品仅需4shot曝光，生产性能大幅提升。此外，在生产车载横向大型特殊显示器时，也可以做到无接缝2shot曝光。且，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约60%，tact time提升约14%※7，有效提升了量产效率。

新开发的非线性补正模块，实现高套刻精度

新产品除了采用和支持第6代玻璃基板的“MPAsp-E813H”（2014年9月发售）一样的每块面板多点同时测量的对位方式，此方式既保证了生产效率也实现了高精度曝光。同时，新产品还搭载了新开发的非线性补正REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块。搭载REI 模块后，即使曝光幅度扩大也实现了±0.30μm高套刻精度。

强化制造工艺

新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换，从而适配各类制造工序的曝光。

新产品在形成圆弧光的机构中，配备曝光狭缝自动调整机构（SIC：Slit Illuminance Control）。通过自动控制光线通过的狭缝宽度，可以改变曝光光线的强度分布，从而实现稳定的曝光线宽。

同时，新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的universe chuck，首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。

新产品MPAsp-E1003H通过强化上述制造工序的工艺应对能力，制造质量更加稳定。

※1、1,500×1,850mm尺寸的玻璃基板，用于制造以智能手机为主的中小型显示器面板。

※2、佳能生产的支持使用第6代玻璃基板的FPD曝光设备。

※3、1微米是1米的百万分之一（=千分之一毫米）。

※4、Line and Space的缩写。Line和Space等距排列的图案。

※5、和「MPAsp-E813H」比较。

※6、2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板，现在主要用于制造电视显示器面板。

※7、和「MPA-E813H」比较。

※8、σ（sigma）为照明系的NA（开口数）和投影系的NA的比。

※9、Contact Hole缩写。为了形成布线而贯穿多层的圆形图案。

佳能的FPD曝光设备的工作机制

佳能的FPD曝光设备采用镜面投影方式。镜面投影方式由大凹面镜，小凹面镜和梯形镜组成。通过将光照射在单元上方的光掩模上，光掩模上的电路图案就可以在经过5次反射后准确地转印在玻璃基板上。约1μm（1mm的千分之一）的精细电路图案转印到大型玻璃基板上时，凹面镜特别关键。佳能具有较强的光学技术和生产技术，因而能够研发生产直径约1.5米的大型凹面镜。

佳能的曝光方式在光学上具有完全对称的结构，优点是在原理上不会产生因斜射光引起的彗形像差（渗光），也不会因使用镜头的折射光学系统引起光的波长差异进而导致的色差（色偏）。在圆弧形的范围内能够得到优良的成像特性，通过扫描该圆弧形的曝光区域即可实现大面积高分辨率性能。