2023年7月31日，武汉敏声新技术有限公司(简称“武汉敏声”，MEMSonics)战略轮融资暨敏声-赛莱克斯北京8英寸BAW滤波器联合产线量产仪式京举行。

图片来自赛微电子官微

　　赛微电子董事长杨云春、赛莱克斯(北京)CEO沈勇、金融街资本董事长程瑞琦、中庚基金董事长闫炘、慈星股份董事长孙平范等嘉宾与武汉敏声董事长孙成亮、CPO李春江等，共同出席了量产仪式剪彩。

　　敏声-赛莱克斯北京8英寸BAW滤波器联合产线实现全面通线

　　据《国际电子商情》查询武汉敏声官网获悉，2022年12月30日，经过专家组的专业评审，武汉敏声与赛微电子合作共建的敏声-赛莱克斯北京8英寸BAW滤波器联合产线宣布实现全面通线。这是继完成自有知识产权BAW滤波器产品的独立正向研发后，武汉敏声正式迈出高端射频滤波器国产化自主量产的重要步伐。

8英寸BAW滤波器产线洁净车间(图片来自武汉敏声官网)

　　自2021年8月武汉敏声与赛微电子达成战略合作以来，双方团队经过共同克服了疫情影响、设备交付周期延长等诸多困难，终于在原计划时间内建立起国内领先的专用8英寸射频滤波器生产线，并拥有相对完善的产业配套以及一定的产业规模。通线评审会上，武汉敏声首席技术官孙博文博士介绍道：“正如大家看到的最新测试结果，敏声BAW滤波器的产品性能已达到国际先进水平，在插损、滚降、远端抑制等具体性能指标上优于目前国外同类产品，随着产线通线，预计明年将实现多款产品的大规模量产。敏声的滤波器产品，无论在IP设计还是工艺路线上均有独立自主的知识产权，公司已经申请了200余项发明专利，授权了近70项发明专利。下一步，我们将继续秉承初心，保持匠心，不断优化迭代现有产品，同时专注研发更高频段、更大带宽的高性能BAW滤波器。”

8英寸BAW滤波器产线通线仪式全体合影(图片来自武汉敏声官网)

　　据赛微电子近日在投资平台回复称，该公司与武汉敏声以共同购置设备的方式合作建设北京8英寸BAW滤波器联合产线，该产线的角色为负责不同型号BAW滤波器的生产制造。此前，在今年7月月初，赛微电子在接待机构调研时表示，北京8英寸BAW滤波器联合产线初期建成的产能为2000片晶圆/月，后可扩展至1万片晶圆/月的水平。

　　武汉敏声成立不久，便受到资本热捧

　　据了解，武汉敏声由武汉大学工业科学研究院孙成亮教授联合14名国际知名业内专家共同创立。该公司以射频滤波器为拳头产品，同时覆盖压电式麦克风以及压电超声传感器芯片，致力于打造成一家集设计、生产和销售于一体的企业。

　　成立于2019年的武汉敏声，集聚了一批业内资深专家，凭借着多年技术积累，仅用了2年多时间就掌握了上百项专利，并且还有新的专利在陆续申请中。专利涵盖了结构设计、工艺制程、电子封装、单片集成等建立了多维度多层次的专利壁垒。

　　武汉敏声建立的专利壁垒，为抢占5G/6G无线通讯新赛道，进而参与国际竞争奠定了基础。而武汉敏声的不断突破，不仅得到业内认可，还获得资本市场热捧。例如该公司在2020年6月获得天使轮融资;翌年6月，其又获得多家投资机构高达过亿元投资;2022年6月，该公司正式宣布完成近6亿元B轮融资;近日，其又宣布获得超亿元战略融资。

　　双管齐下，赛微电子布局MEMS和GaN器件

　　今年7月中旬，赛微电子发布公告称，其控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司(“赛莱克斯北京”或“北京 FAB3”)以 MEMS ( 微机电系统)工艺为某客户制造的系列 BAW(Bulk Acoustic Wave,带谐振腔体声 波)滤波器完成了小批量试生产阶段。

　　该公司称，2023 年 7 月 15 日，该客户已与赛莱克斯北京同步签署《长期采购协议》， 赛莱克斯北京开始进行 BAW 滤波器的商业化规模量产。 尽管已在多领域实现 MEMS 制造技术的积累和突破，但该公司北京 FAB3 在整体 上仍处于运营初期，产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程，产能扩充及 产量目标的实现尚需一定时间。

　　此前，赛微电子在2023 年第一季度报告指出，今年 1 月，该公司赛莱克斯北京 FAB3 代工制造的某款 MEMS 生物芯片通过了客户验证，该客户已同步签署试产订 单，启动首批 MEMS 生物芯片 8 英寸晶圆的小批量试生产。

　　据《国际电子商情》查询赛微电子官网获悉，赛微电子成立于2008年5月15日，于2015年5月14日在深圳证券交易所创业板挂牌上市，股票简称为“赛微电子”，股票代码为“300456”。

　　赛微电子以半导体业务为核心，一方面重点发展MEMS工艺开发与晶圆制造业务，一方面积极布局GaN材料与器件业务。该公司通过在境内外设立赛莱克斯北京、微芯科技、赛莱克斯国际 、Silex Microsystems AB等子公司开展具体业务。

　　资料显示，赛微电子通过收购国际领先的MEMS代工公司Silex Microsystem等一系列战略布局的实施，赛莱克斯北京在公司成立之初就获得了强大、丰富的重大专项成果及项目积累、国际先进的MEMS代工技术、管理技术和管理团队等资源。工艺技术团队，来自瑞典的全球最大的纯MEMS代工企业Silex，其具备0.35um制造工艺，200余项国际专利。

　　根据查询，赛莱克斯北京是由赛微电子全资子公司赛莱克斯国际与国家集成电路产业投资基金股份有限公司共同投资的 8 英寸 MEMS 国际代工线项目公司。目前，赛莱克斯国际持有项目公司66.5%的股份，国家集成电路产业投资基金股份有限公司持股28.5%，北京极芯传感科技中心(有限合伙)持股5%。北京极芯传感科技中心(有限合伙)则由赛微电子和北京微芯科技有限公司(认缴金额120万)共同出资设立。

赛莱克斯北京股权结构

　　尽管赛微电子设立了MEMS工艺开发与晶圆制造和GaN材料与器件两条主营线路，不过据《国际电子商情》从其官网了解到，该公司目前仅提供(展示)了8英寸GaN-on-Si外延晶圆、650 V HS系列GaN功率器件产品、65 W PD氮化镓快充应用产品，但是仍未看到MEMS系列产品。

赛微电子官网截图