5.8亿,上海新阳光刻胶项目启动,国产替代进程加速

发布时间:2023-02-15  

2月14日晚间,上海新阳发布公告称,公司拟与上海化学工业区管委会、上海化学工业区发展有限公司签订《投资意向协议》,变更全资子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司注册于上海化学工业区,并启动位于上海化学工业区的项目建设。

据公告披露,项目主要开发集成电路关键工艺材料,总投资额约5.8亿元,占地约104亩。预计年产500吨I线、KrF、ArF干/湿法光刻胶;年产10000吨光刻胶稀释剂;年产5000吨高选择比氮化钛刻蚀液系列产品;年产15000吨干法蚀刻清洗液系列产品。

项目拟于2023年取得施工许可证,2025年底前竣工,2026年6月底前投产。

公开资料显示,光刻胶是一种对光敏感的混合液体,其主要作用是通过光化学反应,基于曝光、显影等光工序将所需要刻蚀的细微图形从光罩(掩模版)转移到待加工硅基片上。除了提高加工精度,光刻胶还可以保护硅基材免受腐蚀,阻止离子影响。

光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料,广泛应用于350nm-14nm甚至7nm技术节点的集成电路制造工艺。

上海新阳曾于2022年8月左右表示,公司在ArF光刻胶方面,ArF、ArF-i光刻胶研发进展顺利,已经形成两个系列试验产品,样品已经进入客户端进行测试,此外ArF浸没式光刻胶产品已有样品在测试阶段。

据悉,上海新阳主攻KrF和干法ArF光刻胶,已经进入产能建设阶段。其在2020年11月3日定增预案,公司拟定增募资不超过14.50亿元,其中8.15亿元拟投资于集成电路制造用高端光刻胶研发、产业化项目,主要目标为实现ArF干法工艺使用的光刻胶和面向3D NAND台阶刻蚀的KrF厚膜光刻胶的产业化,力争于2023年前实现上述产品的产业化,填补国内空白。2021年6月,上海新阳宣布,该公司自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶产品通过了客户认证,并成功取得订单,其中通过认证的KrF光刻胶产品客户数量不断增加,已进入国内主流芯片制造公司。目前除ArF光刻胶外,上海新阳EUV光刻胶基本的研发工作正在进行中;KrF光刻胶已有订单客户超3家。

在ArF光刻胶的产业化进程上,除了上海新阳,南大光电、徐州博康也取得较大进展。南大光电ArF光刻胶有小批量订单,尚未规模量产,目前已建成25吨产能的ArF光刻胶生产线。公司在2022年年末表示,ArF光刻胶项目正在顺利推进,有多款ArF光刻产品在国内大型芯片制造企业正进行测试;徐州博康则在2022年11月22日举办的势银光刻胶产业大会上表示,ArF光刻胶已经有两支产品通过了客户的小批量采购,有4支产品在国际厂进行验证评估,预计2022年12月和2023年一季度就会产生一定量的采购订单。

封面图片来源:拍信网

文章来源于:全球半导体观察    原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。

相关文章

    知识产权,所以就购买了整个专利)。 2022年2月7日,强力新材表示拟与强力实业、上海长岱、捷时雅(上海)商贸有限公司共同投资设立合资公司常州强力捷时雅新材料有限公司。捷时雅上海为JSR株式会社100......
    家已是A股上市公司,飞骧科技科创板IPO申请已到问询状态。其中,唯捷创芯在国产化率较低的射频放大器领域占据国产主要份额。 光刻胶厂商阜阳欣奕华冲刺IPO,已进行上市辅导备案 近日,国产光刻胶厂商阜阳欣奕华新材......
    彤程新材光刻胶产品线取得新突破;4月30日,彤程新材宣布,ArF光刻胶已实现批量出货。这意味着,公司在光刻胶产品线上又取得了新突破。 资料显示,彤程新材主要从事新材料的研发、生产、销售......
    。2018年5月,国家科技重大专项中的极紫外光刻胶项目顺利通过国家验收,标志着中国在高端光刻胶领域的重大进步。此后2019年11月,8种"光刻胶及其关键原材料和配套试剂"入选工信部的重点新材料指导目录,并且......
    的价格认购宁波南大光电的新增注册资本6733.19万元。 与此同时,晶瑞电材(曾用名“晶瑞股份”)、彤程新材等光刻胶厂商也正在不断加码布局。 8月11日,晶瑞电材发布公告称,向不......
    久日新材:年产600吨微电子光刻胶专用光敏剂项目投产;5月31日,天津久日新材料股份有限公司(以下简称“久日新材”)发布公告称,公司控股子公司大晶信息化学品(徐州)有限公司(以下简称“大晶......
    瑞联新材拟4.91亿元投建光刻胶及高端新材料产业化项目;近日,瑞联新材发布公告称,公司拟投建光刻胶及高端新材料产业化项目。根据公告,该项目的实施主体为公司的全资子公司大荔海泰新材料有限责任公司,项目......
    全球光刻胶八强之一,北京科华新增10支产品获得长江存储、广州粤芯等订单;9月23日,彤程新材在投资者互动平台上表示,今年上半年公司旗下北京科华微电子材料有限公司(以下简称“北京科华”)新增包括KrF......
    2023年末完成建设,彤程新材投建ArF高端光刻胶项目;8月16日,彤程新材料集团股份有限公司 (以下简称“彤程新材“)发布公告称,拟加码光刻胶业务。 根据公告,彤程新材......
    总投资5.7亿元,彤程新材半导体光刻胶及高纯试剂项目开工;近日,上海彤程电子材料有限公司“半导体光刻胶及高纯试剂项目”已在上海化学工业区顺利开工,计划年内机械竣工。 据悉,彤程新材......

我们与500+贴片厂合作,完美满足客户的定制需求。为品牌提供定制化的推广方案、专属产品特色页,多渠道推广,SEM/SEO精准营销以及与公众号的联合推广...详细>>

利用葫芦芯平台的卓越技术服务和新产品推广能力,原厂代理能轻松打入消费物联网(IOT)、信息与通信(ICT)、汽车及新能源汽车、工业自动化及工业物联网、装备及功率电子...详细>>

充分利用其强大的电子元器件采购流量,创新性地为这些物料提供了一个全新的窗口。我们的高效数字营销技术,不仅可以助你轻松识别与连接到需求方,更能够极大地提高“闲置物料”的处理能力,通过葫芦芯平台...详细>>

我们的目标很明确:构建一个全方位的半导体产业生态系统。成为一家全球领先的半导体互联网生态公司。目前,我们已成功打造了智能汽车、智能家居、大健康医疗、机器人和材料等五大生态领域。更为重要的是...详细>>

我们深知加工与定制类服务商的价值和重要性,因此,我们倾力为您提供最顶尖的营销资源。在我们的平台上,您可以直接接触到100万的研发工程师和采购工程师,以及10万的活跃客户群体...详细>>

凭借我们强大的专业流量和尖端的互联网数字营销技术,我们承诺为原厂提供免费的产品资料推广服务。无论是最新的资讯、技术动态还是创新产品,都可以通过我们的平台迅速传达给目标客户...详细>>

我们不止于将线索转化为潜在客户。葫芦芯平台致力于形成业务闭环,从引流、宣传到最终销售,全程跟进,确保每一个potential lead都得到妥善处理,从而大幅提高转化率。不仅如此...详细>>