不久前，SEMI对半导体设备市场做了一份预测，2021年原始设备制造商总销售额将达到1030亿美元，比2020年的行业纪录（710亿美元）猛增44.7%。到2022年全球半导体设备市场将扩大到1140亿美元。半导体设备正在处于一个黄金时代。

国产设备迎风飞

近期，国产半导体设备企业纷纷公布了其对于2021财年的业绩预告，从预报可以看出，国产半导体设备企业在过去一年，整体取得了不俗的成绩。

北方华创 

北方华创去年营收锁定在85~109亿元，同增40%~80%，净利润锁定在9.4~12.08亿元，同增75%~125%。

从财报来看，集成电路占到北方华创设备业务的50%~60%，北方华创近期也表示，由于下游需求相对旺盛，公司会在半导体设备、集成电路及电子元器件方面的销售有持续的增长。

中微公司 

中微公司预计2021年营收31.08亿元，同增36.73%。净利润落在9.5~10.3亿，同增93.01%~109.26%。

在产品上，去年11月，中微公司的第1500个CCP刻蚀设备反应台顺利付运，预计在2022年前后推出两款CCP新应用（大马士革和极高深宽比刻蚀），大马士革工艺有望覆盖5nm及以下，CCP介质刻蚀机在实验室中达到的深宽比超60:1。

2021年是扩产的一年

过去一年，受到全球产能紧缺的影响，国内外的晶圆厂陆续在进行产能扩充，这也是半导体设备进入黄金时代的根本原因。

全球半导体观察此前统计了全球主要的晶圆大厂的扩产情况。

△Source：全球半导体观察根据公开资料整理

从统计数据来看，台积电预计3年投入1000亿美元用于扩产，并于2021年11月宣布在日本兴建12英寸晶圆厂。此外台积电还向高雄租地，设立生产7nm及28nm制程的晶圆厂。

三星则预计2026年的产能将达到目前的3倍。2021年11月其宣布投资170亿美元在德州兴建5nm制程为主的12英寸晶圆厂，英特尔则在践行自己的IDM2.0战略，根据外媒报道，英特尔将在包括法国、意大利以及德国等地新建或扩充产能。

中国大陆市场中，中芯国际是属于最忙的。

华虹则在4月公布了无锡华虹集成电路一期扩能项目情况，该项目计划总投资52亿元，将形成一条工艺等级90-65/55nm、月产能达到6.5万片的12英寸特色工艺集成电路芯片生产线。

此外，华大旗下的积塔半导体也在下半年完成了80亿的募资，并已启动特色工艺生产线的二期项目，规划扩建12英寸特色工艺生产线至月产能5万片。

设备交期拉长

产能紧缺需要大规模扩产，而大规模扩产又会加速半导体设备供不应求，从而拉长设备交期。根据SEMI的统计，北美半导体设备在去年11月份交期再创新高，需求十分旺盛。

而中游的晶圆厂，因为设备交期而拖延扩产进程。去年12月，中芯国际资深副总裁彭进就曾表示，受关键设备交期拉长影响，中芯国际扩产不如预期。8英寸每月实际开出新产能4.5万片，较先前预期降低35%；12英寸月产能每月仅增加1万片，扩产进度不如预期。

几乎同一时间，联电也表示，28/14nm设备交期拉长，部分最精密、供应商最少的设备交期可达30个月。为了产能扩充的顺利进行，联电计划投资762.73亿新台币(约合175亿人民币)，用于提前抢购2-3年后的生产所需设备。

供不应求的不仅仅是新设备，还有二手设备，尤其是许多8英寸的设备本已不再生产，而8英寸产能的需求又持续上升，市面上的二手设备就成了抢手货。比如根据媒体的报道，佳能1995年生产的一款蚀刻设备FPA3000i4，该设备在2014年的价值大概10万美元左右，今年已经翻了17倍，涨到了170万美元。

对于想要扩产的晶圆厂来说，抉择很困难，要么为旧设备支付高昂的价格，要么进入新设备的等待名单，这往往会延长到6个月甚至更长时间。

国产化率提升

扩产除了带来设备厂业绩的增长，对于国产半导体设备企业来说，也会带动国产化率的提升。

根据国际招标网的数据来看，近期长江存储新增13项目中标中，有1台CVD（荷兰ASM 1台）、4台PVD（北方华创4台）、2台刻蚀（北方华创2台）、6台热处理（北方华创6台）。长江存储从2017年至目前的累计国产化率约16.9%，而2021年初至今国产化率约22.4%。

将时间轴拉长来看，在长江存储2017~2021年刻蚀设备招标中，中微公司设备中标数量位列第三，累计58台，仅次于泛林、东京电子，高于应用材料。氧化扩散/热处理设备方面，北方华创中标设备数量靠前，尤其是在长江存储中获采购数量较大。

上海积塔2021年初至今国产化率约46.6%。华力（二期）中标了1台沈阳拓荆的CVD，为2021年首次中标国产设备。

国产设备的渗透率正在一步步的增加。

总结

春江水暖鸭先知，如今半导体正处于春意盎然之中，国产半导体设备之花也在绚烂绽开。台积电对于2022年的预估依然乐观，认为该年度全球代工行业会再成长20%。而在台积电这个龙头的带领下，其它晶圆厂也不会表现太差，相应的对于半导体设备，尤其是国产半导体设备，是一个机遇。

封面图片来源：拍信网