日前,日本三井化学宣布将在其岩国大竹工厂设立碳纳米管 (CNT) 薄膜生产线,开始量产半导体最尖端的零部件产品(保护半导体电路原版的薄膜材料“Pellicle”的新一代产品)。
本文引用地址:据悉,此种CNT薄膜可以实现92%以上的高EUV透射率和超过1kW曝光输出功率的光阻能力。三井化学预期年产能力为5000张,生产线预计于2025年12月完工,可为将推出的下一代高数值孔径、高输出EUV提供支持。
文章来源于:电子产品世界 原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。