【导读】硅烷，是一种无色、易燃、刺激性的气体，其主要成分为硅氢化合物，最常见的是甲硅烷（SiH4）。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业。高浓度硅烷暴露可能对人体造成急性呼吸系统损伤和中枢神经系统受损。职业环境里暴露于硅烷的阈值极限为：八小时时间加权平均值(TLV TWA)5ppm。为确保生产过程的安全性，硅烷气体监测的重要性毋庸置疑。

硅烷，是一种无色、易燃、刺激性的气体，其主要成分为硅氢化合物，最常见的是甲硅烷（SiH4）。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业。高浓度硅烷暴露可能对人体造成急性呼吸系统损伤和中枢神经系统受损。职业环境里暴露于硅烷的阈值极限为：八小时时间加权平均值(TLV TWA)5ppm。为确保生产过程的安全性，硅烷气体监测的重要性毋庸置疑。

经过大量市场调研和用户需求分析，通过技术人员的不懈努力开发验证，盛密科技推出两款不同量程的4系列硅烷传感器：4SiH4-10和4SiH4-50传感器。

下文以4SiH4-50传感器为例，介绍其各项性能。4SiH4-10传感器的性能可以参照4SiH4-50。

响应曲线

上图是12只4SiH4-50传感器对10 ppm SiH4的响应曲线，可以看出基线稳定，响应速度快，灵敏度高。

分辨率

上表是8只4SiH4-50传感器的测试结果，分辨率很高，2倍STDEV在10ppb以内（取决于采集电路板噪声）。

线性

上图是10只4SiH4-50传感器通入空气、10ppm、20ppm、30ppm、40ppm、50ppm的SiH4气体的响应曲线，在量程范围内（0~50ppm）线性非常好，判决系数R²为1。

重复性

上图和上表是6次通入10ppm SiH4气体的响应曲线，当输出稳定之后记录输出值，6次的RSD<1%。

暴露测试

上图是10只4SiH4-50传感器通入50ppm的SiH4气体30分钟。输出信号无衰减，平均变化率在1%以内。

交叉灵敏度

通过上表，我们可以看出，该4SiH4-50传感器对H2S、SO2、CO有正响应，对NO2、Cl2有负响应，对于NO、NH3等无响应。

温度特性

以上是SiH4传感器20℃归一化之后的零点温度曲线。在-20~50℃之间，零点温漂小于±0.2ppm。

以上是20℃归一化之后的灵敏度温度曲线。从曲线可以看出：高温50℃，灵敏度的温度漂移量小于+15%；低温段-20℃，虽然灵敏度温度漂移约-35%，但该温度下数据一致性不错，可以通过温度补偿确保测试的准确度。

对于4SiH4-10 传感器，除灵敏度、量程等与4SiH4-50不同，其他性能基本可参照4SiH4-50传感器，或查询盛密科技官网下载规格书。

总结

四系列SiH4传感器（4SiH4-50、4SiH4-10）已具备：

• 高分辨率（可真实测得10ppb级别气体浓度的变化）

• 高重复性（批量传感器高重复性可保证数据一致）

• 线性极佳（线性判定系数R2为1.000）

• 可定制抗酒精干扰版本以供特殊需求

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