构筑国产化合物半导体功率器件测试验证的能力基石

中国深圳 2023年6月15日 – 泰克科技（中国）有限公司和矽电半导体设备（深圳）股份有限公司战略合作发布会在深圳创投大厦矽电总部召开，同一时间，泰克（中国）和矽电半导体宣布测试测量联合实验室正式成立。

毫无疑问，由于双碳目标及绿色生态的政策倾向，ESG浪潮来袭，以SiC（碳化硅）和GaN（氮化镓）为代表的第三代半导体已经成为高性能器件厂商的优先选择，功率器件也成为中国半导体市场的新亮点。市场调研机构Yole最新研究报告指出，全球功率半导体器件市场将从2020年的175亿美元增长至2026年的262亿美元，而其中约70%来自汽车市场。

随之而来的是第三代半导体芯片和功率器件研发、生产中的测试测量难点和挑战，如高压放电、大电流测试、高温性能测试、超薄翘曲晶圆转运等难题。

矽电半导体作为国内半导体产线批量点测设备的头部生产厂家，经过20年的技术累积，掌握了探针测试多项核心关键技术，其产品涵盖集成电路、光电芯片、分立器件、第三代半导体等领域。泰克（中国）作为国际领先的测试测量解决方案供应商，可以提供全流程半导体参数测试方案。泰克（中国）和矽电半导体的强强联手，有助于高效解决业内这些测试难点，在晶圆级测试节点提供WAT、CP、WLR、KGD等测试，在模块级测试节点提供动静态参数测试、封测和可靠性测试，覆盖了整个化合物半导体功率器件全制程。

泰克（中国）和矽电半导体自2015年开展合作以来，在LED Wafer点测市场，取得了突破和进展。本次泰克和矽电战略合作意向书的签署，将“进一步发展和深化在Wafer Acceptance Test（简称WAT）市场的战略合作，以期进一步开拓中国市场，为客户在WAT测试领域提供整体性解决方案，并为客户降低成本以提高竞争力”。

与此同时，矽电-泰克晶圆级探针测试测量联合实验室也宣布正式成立。此联合实验室旨在强化国产化合物半导体功率器件测试验证的能力，进一步探究和优化基于高精度和高吞吐率下的一过性解决方案。实验室提供了可用于12寸、8寸晶圆的全自动探针台，具备

• 支持最高3000V/100A的高压及大电流测试

• 探针系统测试漏电流<100pA@1000V

• WLR支持实现TDDB, NBTI, PBTI, HCI 等测试功能

• 支持高温测试，温度可达200°C 

• 特殊绝缘设计避免击穿和打火，静态测试最高电压3000V，动态测试最高电压2000V

• 搬运/探针部分与测试部分分离，可扩展性强

• 支持铁环，蓝膜，华夫盒，Tap Reel等进出料方式

• 支持多台站并行测试