近日,匠岭科技宣布,其高端量测机台 TFT70 首次内嵌 SuperHiK™ 的创新方案,顺利出货行业内领先的12英寸集成电路制造产线。
资料显示,匠岭科技成立于2018年,致力于打造全球领先的半导体量检测设备公司,集研发、制造与产业化为一体,核心产品包括关键薄膜量测设备、OCD量测设备、先进封装5D检测设备等。公司总部位于上海临港,在上海张江设有研发中心,在江苏常熟设有制造基地。
匠岭科技全面覆盖了前段工艺(FEOL)和后段工艺(BEOL)精准光学量测的多元化需求。目前匠岭科技已在Logic/Foundry、IDM、Memory、Analog & Power等集成电路制造产线,协同部署了多种类量测机台与经验丰富的技术支持团队,量测超百万片晶圆。
封面图片来源:拍信网
文章来源于:全球半导体观察 原文链接
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