据《经济日报》,ASML到2022年年底在手订单达到创纪录的404亿欧元,其中EUV占比55%,订单主要是来自逻辑应用需求,存储则较弱。
业内人士分析,ASML EUV订单中,逻辑应用占75%,存储客户约25%,推测是在先进制程需求增加下,台积电、三星晶圆代工和英特尔仍积极购置机器所致。
此前ASML CEO Peter Wennink表示,“市场持续看到的不确定性,是由通膨、升息、衰退风险及与半导体出口管制有关的地缘政治发展所导致。但客户预计今年下半年将反弹,因此对生产设备的需求仍然强劲。目前市场需求仍然高于ASML的生产能力。”
该公司曾宣布,计划在2025年至2026年,将EUV光刻机的年产能提高到90台,将DUV光刻机的年产能提高至600台(相关阅读:)。
此外,Peter Wennink也警告,美国领导的对中国半导体出口管制,可能最终促使中国成功开发自己的先进半导体机器制造技术。
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