三星与韩国厂商东进半导体合作开发成功EUV光刻胶

发布时间:2021-12-21  

韩国光刻胶供应商东进半导体(Dongjin Semichem)12月19日宣布,近期已通过了三星电子的EUV PR(光刻胶)可靠性测试(合格)。三星方表示,这款光刻胶为双方合作研发,它打破韩国EUV光刻胶完全依赖海外供应商的局面,最快有望明年上半年向产线批量供应。

业内人士表示,东进半导体在其位于京畿道的华城工厂开发了EUV光刻胶,并在三星电子的华城EUV生产线进行了测试,最终获得了资格。两家公司的合作,使得EUV光刻胶能够以高技术水平快速开发。

据了解,光刻胶应用于芯片上,当用半导体曝光设备照射光时,会发生化学反应并改变物理性质,通过用显影剂冲洗掉PR来绘制微电路,只留下必要的部分。虽然KrF和ArF氟化物工艺的光刻胶在韩国已经大量生产,但没有能够绘制更精细电路的EUV光刻胶。这是因为开发非常困难,韩国国内使用的EUV光刻胶大部分是从日本进口的。

据悉,2019年日本出台出口限制措施后,东进半导体开始利用自己的基础设施,如现有的氟化氩曝光机和比利时半导体研究所(IMEC)的EUV设备,将EUV光刻胶本土化。同时,三星提供了EUV测试环境并且成功提高了光刻胶质量,使其能够被成功应用。

虽然已经通过了测试,不过三星是否会在EUV生产线上立即使用东进半导体的EUV光刻胶还不确定,三星及东进拒绝进一步表态。

封面图片来源:拍信网

文章来源于:全球半导体观察    原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。

我们与500+贴片厂合作,完美满足客户的定制需求。为品牌提供定制化的推广方案、专属产品特色页,多渠道推广,SEM/SEO精准营销以及与公众号的联合推广...详细>>

利用葫芦芯平台的卓越技术服务和新产品推广能力,原厂代理能轻松打入消费物联网(IOT)、信息与通信(ICT)、汽车及新能源汽车、工业自动化及工业物联网、装备及功率电子...详细>>

充分利用其强大的电子元器件采购流量,创新性地为这些物料提供了一个全新的窗口。我们的高效数字营销技术,不仅可以助你轻松识别与连接到需求方,更能够极大地提高“闲置物料”的处理能力,通过葫芦芯平台...详细>>

我们的目标很明确:构建一个全方位的半导体产业生态系统。成为一家全球领先的半导体互联网生态公司。目前,我们已成功打造了智能汽车、智能家居、大健康医疗、机器人和材料等五大生态领域。更为重要的是...详细>>

我们深知加工与定制类服务商的价值和重要性,因此,我们倾力为您提供最顶尖的营销资源。在我们的平台上,您可以直接接触到100万的研发工程师和采购工程师,以及10万的活跃客户群体...详细>>

凭借我们强大的专业流量和尖端的互联网数字营销技术,我们承诺为原厂提供免费的产品资料推广服务。无论是最新的资讯、技术动态还是创新产品,都可以通过我们的平台迅速传达给目标客户...详细>>

我们不止于将线索转化为潜在客户。葫芦芯平台致力于形成业务闭环,从引流、宣传到最终销售,全程跟进,确保每一个potential lead都得到妥善处理,从而大幅提高转化率。不仅如此...详细>>