技术咨询
代买器件
商务客服
研发客服4月22日，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”）宣布，其18腔300mm Ultra C VI单晶圆清洗设备已成功投入量产。该设备于2020年第二季度首次推出，目前已在中国一家主流存储芯片制造商的生产线上获得验证并进入量产。
据官微介绍，18腔300mm Ultra C VI设备可用于聚合物去除、钨或铜工艺的清洗、沉积前清洗、蚀刻后和化学机械抛光（CMP）后清洗、深沟槽清洗、RCA标准清洗等多个前道和后道工艺。
另外，它由多个机械臂组成的高效硅片传输系统，最大产能超过800片/小时。对比盛美上海现有的12腔Ultra C V设备，其腔体数及产能增加了50%，而设备宽度不变只是在长度上有少量增加。
盛美上海Ultra C VI设备支持先进逻辑、DRAM和3D NAND制造所需的大多数半导体清洗工艺。
此外，据悉，盛美上海此前已被列入上海第一批复工名单。
封面图片来源：拍信网
文章来源于:全球半导体观察 原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。
相关文章
天津华峰集成电路先进测试设备产业化基地一期项目建成投产(2021-09-28)
厂商。为扩大产能，保障客户供应，2017年底，华峰测控在生态城注册成立天津华峰，进行集成电路测试设备的研发和生产；与此同时，天津华峰在生态城投资建设新的产业化基地。
建成后的天津华峰集成电路先进测试设备产......
浪潮云洲"工"字模式获评2023年拉姆-查兰管理实践奖-杰出奖(2023-11-02)
联网，实时采集设备运行状态等数据，通过采数、算数、用数，实现设备异常预警、设备效率分析、设备产能分析以及数据可视化展示等，订单及时交付率提升超过50%，设备......
浪潮云洲“工”字模式获评2023年拉姆－查兰管理实践奖－杰出奖(2023-11-03 09:32)
联网，实时采集设备运行状态等数据，通过采数、算数、用数，实现设备异常预警、设备效率分析、设备产能分析以及数据可视化展示等，订单及时交付率提升超过50%，设备......
预计全球设备收入今年同比降13%，达870亿美元(2023-05-09)
预计全球设备收入今年同比降13%，达870亿美元;
【导读】知名半导体分析机构Yole 近日发布对晶圆制造设备产业的预测，尽管晶圆设备商收入在2023年会出现下滑，但在......
光伏龙头晶澳数智化提速，元脑伙伴云南天奥助力产能提升(2024-02-28 14:10)
时也对光伏企业的信息化基础设施和平台建设提出了新的要求。晶澳太阳能科技股份有限公司（以下简称"晶澳科技"）是新能源发电解决方案平台企业，以硅片-电池片-组件的主产业链为主体，以光伏辅材和设备产业、光伏+应用场景解决方案为两翼，持续深入推进"一体两翼"战略......
光伏龙头晶澳数智化提速，元脑伙伴云南天奥助力产能提升(2024-02-27)
时也对光伏企业的信息化基础设施和平台建设提出了新的要求。
晶澳太阳能科技股份有限公司（以下简称"晶澳科技"）是新能源发电解决方案平台企业，以硅片-电池片-组件的主产业链为主体，以光伏辅材和设备产业、光伏+应用场景解决方案为两翼，持续深入推进"一体两翼"战略......
华峰测控集成电路先进测试设备产业化基地将于7月投用(2021-05-14)
月正式投入使用。
报道指出，作为天津首个集成电路先进测试设备产业化基地，该项目建筑面积近3万平方米，建成后将承担公司生产、研发和销售等任务，解决产能瓶颈，助力产品改进升级，同时......
打造新兴产业“联合舰队”，沈阳集成电路装备产业驶入快车道(2022-05-24)
装备产业链上游拥有富创、新松、中科仪、硅基、中科博微等企业，能够供应反应腔、真空干泵、机械手、SOI材料等零部件和控制系统；产业链中游为整机装备制造商。拥有芯源微、拓荆、仪表院等企业，可以进行薄膜设备......
国产半导体设备迎“黄金时代”，北方华创募资85亿元扩产(2021-04-22)
国产半导体设备迎“黄金时代”，北方华创募资85亿元扩产;全球芯片紧缺问题蔓延至半导体设备领域，上游晶圆制造厂相继宣布大幅扩充产能，国产半导体设备厂商瞄准市场机遇，也开始启动扩产。
4月21日......
拓荆科技拟投资2.5亿元建设高端半导体设备产业化基地建设项目(2024-03-04)
拓荆科技拟投资2.5亿元建设高端半导体设备产业化基地建设项目;3月2日，拓荆科技发布公告称，公司基于整体战略布局及经营发展的需要，为加快产能规划及产业布局，拟投资建设“高端半导体设备产......