据官网消息,美国纽约州州长宣布与、以及其他行业参与者合作,投资100亿美元在纽约州 Albany NanoTech Complex 建设下一代 High-NA 半导体研发中心。
本文引用地址:称,这将是北美第一个也是唯一一个拥有高数值孔径极紫外光刻(高NA )系统的公共研发中心,可为开发和生产小于2nm的节点芯片铺平道路。
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