8月7日,晶升股份在投资者互动平台表示,其第一批8英寸碳化硅长晶设备已于2024年7月在重庆完成交付。这意味着晶升股份8英寸碳化硅长晶设备已完成验证,开启了批量交付进程。
2023年6月,晶盛机电宣布成功研发出8英寸单片式碳化硅外延生长设备。据介绍,该设备可兼容6/8英寸碳化硅外延生产,在6英寸外延设备原有的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上,解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题,实现了成熟稳定的8英寸碳化硅外延工艺。
切片方面,晶升股份曾披露,切割设备计划于今年4月左右发往客户做最终测试,若测试成功即可正式推出。
据了解,目前,晶升股份正在从设备方面大力布局8英寸碳化硅衬底和外延环节,有望在2023年持续开拓三安光电、东尼电子、比亚迪等客户的基础上,进一步拓展市场。
封面图片来源:拍信网
文章来源于:全球半导体观察 原文链接
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