苏州华林科纳半导体设备技术有限公司由中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所与北京华林伟业合资成立。公司于2008年3月成立，总投资4500万元。主要从事半导体设备、太阳能光伏设备、液晶湿制程设备、真空设备等的研发、技术推广和生产销售。
公司响应国家十一五规划“构筑产学研相结合技术的创新体系”的号召，以中科院纳米所的研究平台和技术团队为技术依托，整合华林伟业在相关行业多年的设备制造经验，研发生产中高端半导体设备。公司以技术为根本，以创新为突破点，依托中科院纳米所的研究平台，走设备研发与工艺研究相结合的道路，使设备能够满足和引领最新的生产工艺...