技术咨询
代买器件
商务客服
研发客服IT之家 2 月 21 日消息，在逻辑、存储器、CMOS 传感器等尖端半导体领域，制造工艺日趋复杂，半导体元器件制造厂商为了制造出高精度的半导体元器件，需要提高套刻的精度，因而曝光前要测量的对准测量点也越来越多。
本文引用地址：如果在半导体中对数量众多的测量点进行对准测量的话，测量本身会非常耗时，进而就会降低半导体的生产效率。为此，半导体制造领域引进了晶圆测量机，将半导体的对准测量功能分离出来，以此来确保生产的高精度和效率。
2 月 21 日，推出了半导体制造用晶圆测量机“MS-001”，该产品可以对晶片进行高精度的对准测量。
▲ MS-001
据介绍，“MS-001”所搭载的调准用示波器安装有区域传感器，可以进行多像素测量，降低测量时的噪音。另外，“MS-001”还可以对多个种类的对准标记进行测量。
通过采用新开发的调准用示波器光源，新产品可提供的波长范围比在半导体光刻设备中测量时大 1.5 倍，能够以用户所需的任意波长进行对准测量。因此，相较于在半导体光刻设备中所进行的测量，“MS-001”所能实现的对准测量精度要更高。
▲ 增加的对准标记（示意）
表示，随着新产品的应用，可以在晶片运送至半导体光刻设备之前统一完成大部分的对准测量，减轻在半导体光刻设备中进行对准测量操作的工作量，从而提高半导体光刻设备的生产效率。
文章来源于:电子产品世界 原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。
相关文章
PCB的抄板五大步骤(2023-11-02)
码相机拍两张元器件位置的照片。
· 拆掉所有元件，要将PAD孔里的锡去掉；用酒精将板子擦洗干净，然后放入扫描仪，在扫描仪扫描的时候要稍调高一下扫描的像素，得到较清晰的板子图像；再用......
详解PCB抄板过程，太牛了！(2024-12-06 19:34:01)
. 拆掉所有器多层板抄板件，并且将PAD孔里的锡去掉。用酒精将PCB清洗干净，然后放入扫描仪内，扫描仪扫描的时候需要稍调高一些扫描的像素， 以便得到较清晰的图像。再用水纱纸将顶层和底层轻微打磨，打磨......
首款国产分子育种固相基因芯片发布，驱动种业创新与粮食安全(2024-05-14)
为我国分子育种事业的飞跃式发展开启了新篇章。除了基因芯片，拉索生物还提供包含自研自产的扫描仪、试剂、配套软件及算法在内的一体化解决方案，有力推动了产业链的完善与优化。
拉索生物OmniScan芯片扫描仪
面对......
享誉全球的PFU扫描仪将于2023年4月切换至理光品牌上市(2023-02-13)
享誉全球的PFU扫描仪将于2023年4月切换至理光品牌上市;享誉全球的PFU扫描仪将于2023年4月切换至理光品牌上市
目前，株式会社PFU (以下简称“PFU”)在村上清治社长的带领下，正将其在全球拥有庞大市场份额的图像扫描仪......
奥托尼克斯推出 2D 270°激光扫描仪LSC系列(2022-11-21)
奥托尼克斯推出 2D 270°激光扫描仪LSC系列;
【导读】LiDAR传感器LSC系列(激光扫描仪)具有270°检测角度和长达25 m的检测距离，可准确检测物体的存在。扫描仪提供16个现......
Kodak Alaris推出功能强大的新型台式文档扫描仪(2023-01-18)
Kodak Alaris推出功能强大的新型台式文档扫描仪;推出Kodak E1030和E1040两款功能强大、体积小巧的扫描仪，扩大了其屡获殊荣的文档扫描仪产品阵容。这两款扫描仪......
Kodak Alaris 推出功能强大的新型台式文档扫描仪(2023-01-18 09:49)
Kodak Alaris 推出功能强大的新型台式文档扫描仪;Kodak Alaris 推出 Kodak E1030 和 E1040 两款功能强大、体积小巧的扫描仪，扩大了其屡获殊荣的文档扫描仪......
从新出发，富士通信息系统正式更名为“必福优”(2023-01-03)
从新出发，富士通信息系统正式更名为“必福优”;中国深圳，2023年1月3日 - 全球文档扫描仪领军企业株式会社PFU的全资子公司富士通信息系统（深圳）有限公司宣布，其正式更名为：必福优信息设备（深圳......
全新理光A3图像扫描仪震撼上市，容量更大、速度更快(2024-01-11)
全新理光A3图像扫描仪震撼上市，容量更大、速度更快;RICOH fi-8950、RICOH fi-8930 和RICOH fi-8820本文引用地址：近日，全球领先(1)的扫描仪制造商，株式......
享誉全球的PFU扫描仪将于2023年4月切换至理光品牌上市(2023-02-14)
享誉全球的PFU扫描仪将于2023年4月切换至理光品牌上市;目前，株式会社 (以下简称“”)在村上清治社长的带领下，正将其在全球拥有庞大市场份额的图像从富士通品牌变更为品牌，涉及产品线包括fi系列......