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研发客服当地时间，2023年1月25日，荷兰龙头发布了2022年第四季度和全年业绩。2022年第四季度的净销售额为64亿欧元，达到了预期目标区间中位，毛利率为51.5%，高于预期。同时，毛利率还受到去年柏林工厂火灾导致的额外升级和保险赔偿影响。2022年全年总净销售额为212亿欧元，毛利率为50.5%，净利润为56亿欧元。
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另外，2022年底，ASML未交付订单创下历史新高，达404亿欧元，该年总共销售317台新，较前一年增长31台，此外还出货了28台二手。
展望未来，ASML总裁兼首席执行官Peter Wennink表示，由于通货膨胀、利率上升、经济衰退风险以及受地缘政治影响的出口管制等因素，市场仍存在不确定性。“我们的客户表示，今年下半年市场有望反弹。考虑到订单交付期以及对光刻系统投资的战略意义，市场需求将持续保持强劲势头。”
ASML预计与2022年相比，2023年净销售额将增长25%以上，毛利率略有改善，同时第一季度净销售额预计在61亿欧元至65亿欧元之间，毛利率在49%至50%之间，研发成本约为9.65亿欧元，销售及管理费用约为2.85亿欧元。
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