12月15日，中科飞测发布公告表示，将首次公开发行股票超募资金3.09亿元用于增加募投项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”投资规模。 

中科飞测表示，本次使用超募资金增加募投项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”投资规模，是公司根据目前经营情况及未来发展规划进行充分评估后的调整，符合公司整体战略发展方向，有利于提升公司综合竞争实力，对公司未来发展战略发展具有积极作用。具体如下：  

（一）随着公司持续的产品创新和技术创新，公司产品种类和系列日趋丰富，产量及销售规模稳步增长。为满足国内外市场对公司高端半导体质量控制设备的持续增长需求，公司拟加大“高端半导体质量控制设备产业化项目”投资及建设规模，并增加研发及生产配套设施的投入规模，以更好满足公司存在的日益增长的生产、研发需求。 
 
（二）优化高端半导体质量控制设备生产条件。项目原规划生产车间洁净等级最高为千级，随着公司当前及未来产品逐渐向更先进的工艺制程发展，产品性能和产品技术指标不断提升，产品生产和研发对生产场地以及配套设施要求将进一步提升，公司为满足生产需求，本项目在扩大建筑面积的同时，将同时增加百级洁净车间的建造装修投资。  

（三）提升公司的产品研发综合能力。本项目原规划仅建设生产场地用于高端半导体生产，随着公司业务规模扩大，公司研发规模、研发人员数量也大幅提升。公司计划在原有规划基础上，增加研发场地建设面积，购置研发设备，用于提升公司研发实力，为公司产品升级迭代以及新产品、新技术研发提供支持。 
 
（四）为满足先进设备研发和生产的更高要求，公司需相应增加厂房的抗微震结构，以及增强辅助厂房部分结构。  

（三）因建筑规模扩大导致通风空调工程、勘察设计费以及项目管理公司和投资监理费用等工程建设其他费用增加。
  
综上，中科飞测在本项目实施主体及实施方式不变的情况下，对原募投项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”规划方案进行了调整，使得项目预算需要有所增加。 

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