外媒报导,美东时间7月14日晚上9点30分左右,位于美国路易斯安那州伊贝维尔教区(WAFB)、密西西比河沿岸的陶氏化学(Dows Chemical)Plaquemine工厂发生一系列爆炸。由于陶氏化学是半导体关键化学材料光阻剂与抛光垫/液的重要供应商,使得该件爆炸事件备受市场关注。
报导指出,Plaquemine工厂当时被侦测到共发生六起爆炸,居住在附近的目击者拍到了巨大火焰的影片,并表示几英里外都可以感受到爆炸冲击波。截至当天晚上11点为主,工作人员仍在与火灾作斗争。另外,在爆炸事件发生后,当地官员敦促工厂半径半英里内的居民就地避难,要求居民留在室内,除非必要不要离开家。
针对此次事件,陶氏化学路易斯安那运营部发表声明表示,陶氏化学紧急行动中心正在与当地和州政府机构密切合作,以应对路易斯安那州Plaquemine工厂现场发生的事件。已查明所有人员均安全,空气监测未检测到空气中的有害物质。至于事故原因,目前还在调查当中。
由于陶氏化学为全球半导体关键化学材料的重要供应商,陶氏化学不仅拥有高纯度化学品产品线,还提供了一系列的光阻材料,包括光阻剂、光阻溶剂、光阻辅助剂等。同时,陶氏化学还是全球重要的CMP(化学机械抛光)材料供应商,包括抛光垫、抛光液等。
数据显示,陶氏化学目前在全球占有17%的光阻剂市场占有率、79%的CMP抛光垫市场占有率,以及15%的CMP抛光液市场占有率。因此,陶氏化学工厂爆炸引发了不少半导体业界人士的关注。
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