技术咨询
代买器件
商务客服
研发客服SuperViewW1白光干涉仪测量小尺寸样品时，可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，镜头的横向分辨率数值可达0.4um，Z向扫描电机可扫描10mm范围，纵向分辨率可达0.1nm级别，因此可测非常微小尺寸的器件；而测量大尺寸样品时，支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um。
SuperViewW1白光干涉仪
自动拼接功能
测量方法
1.点击XY复位，使得镜头复位到载物台中心
2.将被测物放置在载物台夹具上，被测物中心大致和载物台中心重合；
3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件；
4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度，找到干涉条纹；
5.设置好扫描方式和扫描范围；
6.点击选项图标，确认自动找条纹上下限无误；
7.点击多区域测量图标，可选择方形和（椭）圆形两种测量区域形状；
8.根据被测物形状和尺寸，"形状”栏选择“椭圆平面”，X和Y方向按需设置；
9.点击弹出框右下角的“开始”图标，仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。
大尺寸样品_拼接测量
文章来源于:电子工程世界 原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。
相关文章
白光干涉仪和激光共聚焦显微镜的区别(2023-03-08)
和激光共聚焦显微镜都具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点，都有表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，适用范围广，可测多种类型样品的表面微细结构。但白光干涉仪与共聚焦显微镜还是有着不同之处。
1、测量原理
白光干涉仪是以白光干涉技术为原理......
白光干涉仪自动拼接测量功能介绍(2023-03-06)
白光干涉仪自动拼接测量功能介绍;SuperViewW1白光干涉仪测量小尺寸样品时，可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，镜头......
粗糙度仪工作原理详解(2023-08-02)
。
W1型白光干涉仪
白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两......
激光干涉仪与跟踪仪的区别(2023-03-06)
激光干涉仪与跟踪仪的区别;激光干涉仪
激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统丈量位移的通用长度丈量工具，是校准数控机床、坐标测量机、测长机、电动滑台、线性......
光频域偏振计：跨越110dB的分布式偏振消光比测量技术(2023-03-27)
反谐振型空芯光子晶体光纤的提出和性能的快速提升，PER性能已经达到100dB/m以上。因此，亟需攻克100dB以上超高性能分布式偏振测量方法与技术，实现对上述保偏光纤及偏振器件的性能评价、缺陷分析与故障诊断。而目前，基于白光干涉原理的光相干域偏振测量......
关于光谱共焦传感器的精密测量方案(2023-03-15)
缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级。目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一，具有以下优点：
非接触三维表面轮廓测量。
噪音小，测量......
干涉仪的基础知识汇总(2023-05-22)
实际上是科学：您正在使用一幅图像的光线模式来显示另一幅图像的差异。科学家使用一种非常类似的过程称为干涉测量法，通过比较光束或无线电束，以极高的精度测量微小物体。
激光干涉仪。激光束分为两部分。一部......
白光轮廓仪与共聚焦显微镜的区别是什么？(2023-02-28)
白光轮廓仪与共聚焦显微镜的区别是什么？;SuperViewW1白光轮廓仪是以白光干涉技术为原理，实现器件亚纳米级表面形貌测量的光学检测仪器。多用于测量大范围光滑的样品，尤其......
不同的脉冲宽度测量技术优势(2023-03-23)
时间最少不低于十几个皮秒，因此难以用于测量皮秒和飞秒激光脉冲。
图1 自相关仪示意图
测量更短的脉宽只能通过光学的方法实现，例如光学自相关。光学自相关仪的基本结构类似迈克尔逊干涉仪(图1)。其通......
光纤光谱仪原理_光纤光谱仪的用途(2023-04-26)
lumen，色轴X， Y， Z， x， y， z， u， v和色温。
3、薄膜厚度测量
光学的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理，可以测量的膜层厚度10nm-50μm，分辨率为1nm。薄膜测量......