据《科创板日报》报道，针对“因4~5纳米先进制程良率逐渐稳定，客户订单正逐渐增加，稼动率也相应反弹，12英寸稼动率回升至九成。”这一市场消息，三星半导体对其进行了回应。

报道指出，三星半导体相关负责人回应表示，“暂无法透露最新良率或者客户情况。正如我们在2022年4月的财务电话会议上所提及，5nm制程良率自去年年初以来已稳定下来，而4nm制程良率也已得到了提升，自2022年第一季度以来一直在预期的轨道上。自此4~5nm制程良率已经稳定了。”

据韩国媒体BusinessKorea报道，三星4纳米制程良率相较之前已有明显提升，最少达到了70%的水准，已接近台积电4纳米制程技术80%的良率。

据悉，三星于2021年量产第一代4nm制程，并在2022年第4季扩产4nm月产能至2万片，同时调度旗下NAND Flash相关人力支援生产。根据三星近期发布的财报显示，该公司将于今年上半年开始量产采用4纳米2.3代工艺的芯片。

另据外媒报道指出，三星电子计划分别在2023年4月、2023年8月、2023年12月提供4nm制程的MPW（Multi-Project Wafer）服务，而这也是2019年三星提供5nm制程MPW服务后，时隔4年提供更先进MPW服务。而这也被业界解读为三星4nm制程良率稳定并将扩大量产规模的表现。

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