硅片电阻率测试仪TS1700

硅片电阻率测试仪TS1700电量输出/测量：内置直流稳压电源和精密电流测量单元，测量不确定度达0.1%。

硅片电阻率测试仪TS1700每次测量时电压值均可稳定在500 mV，并同步测量回路电流，范围：0～1.2 A。

触头执行结构：由2根螺旋钻头、10根带触头的金属杆、施压装置等组成。

标配触头(标准推荐)：单个触头面积约为64.5 mm2, 10个总面积达645 mm2。

选配触头(选配件)：单个触头面积约为100 mm2, 10个总面积达1000 mm2。

导电橡胶触头(TS1700-B)：该触头为面积为645 mm2的导电橡胶，可实现触头与样品软接触。与富兰克林法相比具有更高的重复性和可比性。

钻头具有很好的锐度，可在一定压力下轻易刺破电工钢表面涂层。

钻头、触头金属杆均由电动缸驱动，在垂直方向同步移动，以接触样品进行测试。

测试时，单个触头表面压力约2 N/mm2，配压力传感器实时监控所施加的压力。

样品托盘：由电机驱动，可带动样品前后移动，以寻找多个不同的测试区域，获取多组测试数据。通过软件可设置1～5组测试点。

系统验证标准器：配备标准电阻线路板，用于系统的日常验证。

移动式测控台：通过液晶触摸屏设置测试参数，观察测试状态及结果，使用便捷。

专业测试软件：设置参数和放置样品外，其他测试过程可通过软件自动完成。

软件可实时显示测试的电压值、电流值、压力值，并记录每组测试数据。

硅片电阻率测试仪TS1700

硅片电阻率测试仪TS1700

5. 硅片电阻率测试仪TS1700试样要求

样品尺寸：( 300 mm～500 mm ) × ( 200 mm ) (长×宽)

样品厚度：0.1 mm～1.0 mm

其他要求：试样表面应清洁、平整、无斑痕、划痕

6. 硅片电阻率测试仪TS1700一般技术规格

供电电源 AC ( 220 ± 22 ) V，( 50 ± 2 ) Hz

温度性能 工作温度：0°C～40°C；储存温度：-20°C～70°C

湿度性能 工作湿度：40%～80% R·H不结露

储存湿度：< 95% R·H，不结露