韩半导体设备厂商积极开发新一代HBM加工工具

【导读】据韩媒ZDNet Korea报道，韩美半导体（Hanmi）、Nextin、YEST等韩国半导体设备制造商都在通过开发相关后端工艺和测试设备，同时扩大产能，寻求从不断扩大的HBM市场需求中获益。

据韩媒ZDNet Korea报道，韩美半导体（Hanmi）、Nextin、YEST等韩国半导体设备制造商都在通过开发相关后端工艺和测试设备，同时扩大产能，寻求从不断扩大的HBM市场需求中获益。

目前，HBM占整体DRAM市场不到1%，但人工智能和AI半导体市场的快速发展导致对HBM的需求增加。市场研究机构预测，2023年全球HBM需求将达到2.9亿GB，同比增长60%，2024年可能增长30%。

2022年下半年，韩美半导体开发了专为HBM3量身定制的热压键合机，并于2023年8月推出第二代型号，该机型在垂直方向施加热量和压力来垂直键合DRAM。

为了提高生产能力，韩美半导体还开设了一座新工厂，能够在洁净室环境中同时组装和测试50多台设备。

检验和测试设备供应商Nextin还开发了一款适合HBM应用的新产品，最早将于2023下半年晚些时候为主要客户提供支持生产流程的演示模型。该设备利用光学技术检测HBM内的异物并测量微凸块，使其适用于各种测量领域。

作为热处理设备专家，YEST目前正在开发用于HBM底部填充工艺的下一代晶圆压缩设备。该工艺涉及用绝缘树脂填充DRAM芯片之间的间隙，以保护芯片免受外部污染，因此需要使用压缩设备来确保绝缘树脂无缝且均匀的固定。

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