半导体市场趋势研究公司 Yole Développement 预测，全球外延生长设备市场规模将从2020年的6.9亿美元增长到2026年的11亿美元。

这些设备包括常规/微型LED、激光/光电探测器、射频器件、SiC/SiC/GaN功率器件、用于MEMS制造的MOCVD、MBE（金属束外延生长器件）和Si/SiC HTCVD。

外延生长设备类型

资料来源于Yole Développement

拥有最大市场规模的设备是 MOCVD，预计将以 7% 的年复合增长率增长，到 2026 年将达到 6.3 亿美元。HTCVD市场规模排名第二，预计将以9.5%的年复合增长率增长至3.93亿美元。第三是MBE市场，预计到2026年将以7.1%的年复合增长率增长，达到6800万美元。

不同衬底材料的外延生长设备市场的增长趋势 资料来源于Yole Développement

在半导体衬底材料方面，氮化镓（GaN）材料是继硅衬底之后的主要外延市场，预计到2026年，GaN的市场规模将达到4.02亿美元，2026年，碳化硅（SiC）衬底等宽禁带材料也将达到2.39亿美元。

德国AIXTROM是后摩尔定律下外延生长设备销量最高的公司，市场份额为39%。排名第二的是美国的Veeco，占有 12% 的份额。中微半导体以11%的份额位居第三，仅前三名公司的销售额就占全球市场的60%以上。

外延生长设备企业销量排名 资料来源于Yole Développement

MOCVD 和 MBE 主要用于 GaAs、GaN 和 InP 等化合物半导体材料，而 HTCVD 用于 Si 和 SiC 基器件。HTCVD SiC的市场领导者是TEL，HTCVD Si的市场领导者是AMAT，MBE的市场领导者是RIBER。目前，外延生长设备的主要应用领域是GaN/SiC/Si功率器件和VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser），但五年后，Yole预计外延生长设备应用将转向功率器件和Micro LED 。

2020-2026年外延生长设备市场规模及主要应用器件转换预测 资料来源于Yole Développement

责编：胡安