近期，日经中文网发布了一则报道，内容是在最近一年时间里，二手半导体设备的价格上涨了近2成，而且中国是二手半导体设备最大的流入国。

此外还有从业者表示，二手半导体设备其实价格每年都在上涨，从2008年金融危机到现在，二手半导体设备的价格已经涨了10倍以上。

显然，从报道不难看出，二手半导体设备已经成为了半导体产业不可或缺的一部分，而这一部分市场却不常被人所注意。

二手设备的优点

相对于其他产业来说，半导体设备的再利用价值很高。

大多数半导体设备的使用年限都可以超过30年，并且很多半导体核心设备都是需要在恒温净化的环境下使用，良好的工作环境可以大大延长这些设备的寿命，所以这些设备被翻新之后，基本上仍可以达到不错的性能。

况且在过去十几年里，由于现在半导体工艺迭代速度加快，很多设备在还没有达到服役期就被更先进的设备所替代，这些二手设备只需要更换一些易损件，并进行清洗和调试就可以正常工作，甚至达到原设备的指标。

一条产线的成败不在于设备的新旧，而在于是否够用。

我国的半导体设备产业，目前还处于初级阶段，中高端的设备长期被国外把持，而对于半导体设备而言，除了工艺外，稳定性是另外一个重要问题。

而绝大多数时候，国外厂商淘汰下来的二手设备，被翻新之后再使用，无论是工艺的稳定性还是无故障运行的稳定性，都是不错的。

任何商品，都可以从两方面去衡量，一个是性能或者实用性，另一个则是价格。

目前的二手设备主要分为三种。第一种是未经整合的，完好可用的设备，二手设备中间商直接买来再倒卖，这种价格十分便宜；另一种是二手中间商买来旧机器，并根据客户需求进行翻修整合，其价格一般为新设备价格的20%~30%；第三种则是按照原设备厂商的标准翻造二手设备，价格一般为新设备的60%~70%。

二手设备除了价格之外，省时省力也是一大优势。采用二手设备可以缩短产线建设周期，如果是整条产线都采购二手设备的话，建设周期更短，这对于资金短缺又急于扩建的制造商而言，无疑是一个不错的选择。

翻新设备是门生意

根据日经的报道，90%的二手半导体设备都流入了中国市场。但这并不是最近才产生的情况，长期以来，中国都是最大的二手半导体设备的流入地。

根据已有数据显示，2013年全国办理旧机电备案4.46万批，涉及货值107.28亿美元。而备案地区主要分布在珠三角、长三角和京津冀，外加河南，由于富士康在河南设有工厂，所以备案工作才能异军突起。

而在翻修半导体设备方面，中电科技下属的45所已经改造了近百台光刻机，48所在2004年就翻新了24台离子注入机。

去年6月，大基金旗下的上海聚源聚芯集成电路产业股权投资基金中心，投资了盛吉盛半导体，这家公司主要从事二手半导体设备及配件的翻新、改造、安装、维护及销售。

盛吉盛半导体股东（Source：天眼查）

根据官网信息，盛吉盛半导体不仅深得大基金青睐，其背后的股东包括上海新阳、韩国Triplecores、芯空间以及中芯国际。这也能从侧面看出，包括中芯国际、上海新阳等一批国产半导体企业，产线之中或许也有翻新的半导体设备。

二手设备与国产半导体

其实在中国的半导体产业发展中，二手半导体设备始终扮演着重要角色。

根据原电子工业部部长胡启立，在其著作《芯路历程》中的一段回忆，70年代中国从日本、美国引进了大量二手、淘汰设备建立了超过30条生产线，但引进后无法解决技术、设计问题，也没有管理、运营能力，第一批生产线未能发挥应有的作用，就淡出了市场。

中芯国际与华虹在刚起步阶段，除了购买不少新设备之外，其余的大部分厂都是以二手设备为主。

由于张汝京深谙半导体建厂经验，按照他的理论，“不景气时盖厂最好”。

而中芯国际建厂的2000~2002年，正逢2001年互联网泡沫破灭后的半导体低潮期，中芯趁机购入了大量的低价二手设备，并趁天津摩托罗拉工厂经营不善，以低价换股的方式买下整个工厂。

以此为基础，张汝京仅花了3年就建立起了4条8寸产线和1条12英寸生产线，堪称奇速。

中芯国际芯片代工厂（Source：中芯国际）

此外，国内还有许多企业为了研发新产品，或者新工艺，也会选择采用二手半导体设备。

比如，去年晶瑞股份从SK海力士买下一台ASML XT 1900G i型光刻机，目的是为了进行高端光刻胶的研发。

Source：晶瑞股份

还有之前要冲击高端CMOS的徳淮半导体，其从尼康买了两台二手光刻机，从大连Intel买了5台二手设备和机台。

半导体制造商用二手设备扩充产能和建新产线的情况已经屡见不鲜。而另一方面，全球的设备制造商们也在顺应市场需求，扩大二手设备的业务，应用材料和ASML都是这方面的玩家。

ASML的生意经

早在2003年，应用材料就开始与Meidensha合作，向亚洲制造商出售二手设备，并在上海成立了一家了相关公司，专门翻新二手半导体设备。

而ASML也在很早之前就着眼于二手设备的翻新与再制造，其在中国台湾与荷兰分别设置有8寸和12寸晶圆机台再制造中心，一些老旧的机台进入制造中心后，经过拆解、换零件、重新组装、测试等一连串流程后获得重生，可以再度投入市场。

Source：ASML

据媒体报道，ASML在得知有公司不再使用设备时，便会将机台买回，然后重新翻修，再卖给新的客户。由于这些机台中很多并不旧，只是跟不上技术了，所以ASML将机台以模块化方式组装，当有新工艺被研发出来时，可用的模块可被重新组装成新的机器，以达到节省时间和成本的目的。

以ASML的NXT深紫外光机台为例，这款机台大概有55%的零部件，可以通过更换关键模组的方式升级。

国产设备任重而道远

2019年国产半导体设备销售额为161.82亿元，同比增长30%。其中集成电路设备销售额为71.29亿元，同比增长55.5%。而中国大陆2019年半导体设备市场规模134.5亿美元，国产化率约17%。

并且无论在市场规模还是技术上，国产设备和国外巨头的差别都是巨大的。应用材料是平台型半导体设备龙头，其在薄膜沉积设备和离子注入设备领域具有垄断地位。泛林半导体是全球刻蚀龙头，其在该领域市占率超过50%。而中国刻蚀设备的国产化率只有20%左右，半导体设备国产化任重而道远。

此次二手半导体设备被大众所注意，一方面是由于最近一年来，全球半导体市场火爆，上下游产能供不应求，导致半导体设备也跟着销量大增，而二手半导体设备其价格低廉，投产速度快等特点导致其从幕后走到台前。

同时，也从侧面印证了国产设备与国外设备的差距所在，再次督促国产半导体走向高端，从而提高国产设备在全球的比重。（完）

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