近日,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司(以下简称“中欣晶圆”)宣布,半导体材料研究院成立仪式在杭州举行。
图片来源:中欣晶圆
据介绍,半导体材料研究院是由中欣晶圆建设,拟联合大学和实验室,以半导体硅材料技术工艺研发及检测分析为主方向的研究院。该研究院总部设立在杭州中欣晶圆半导体股份有限公司杭州总部。研究院主要研究方向为轻掺、重掺硅单晶的面向应用的物理化学研究以及单晶成型技术的开发、硅片(外延片)加工技术开发、检测分析技术开发与应用。研发技术团队将服务半导体硅单晶相关的晶体成型、硅片(外延片)加工的工艺技术以及监测分析技术研究开发与应用。研究院以市场为导向、产学研结合,单晶、硅片加工、检测分析技术开发,与市场无缝对接的新型研发机构。
据官方介绍,中欣晶圆成立于2017年,主要从事高品质集成电路用半导体晶圆片的研发与生产制造。2020年,经过Ferrotec集团内部调整,整合了旗下宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司及上海中欣晶圆半导体科技有限公司的业务。
资料显示,中欣晶圆在中国共有三个半导体硅片生产基地,分别是位于上海的上海中欣晶圆、杭州的杭州中欣晶圆以及银川的宁夏中欣晶圆。中欣晶圆三地工厂实现了从半导体单晶硅棒拉制到100mm~300mm半导体晶圆片加工的完整生产。现拥有9条8英寸生产线、2条技术成熟的12英寸生产线,具备年产能240万片/300mm、540万片/200mm、480万片/150mm。
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