3月9日，中微公司发布公告称，公司基于经营战略发展考虑，公司拟以现金方式投资1.08亿元人民币，认购上海睿励新增注册资本7576.68万元人民币。上述交易完成后，中微公司持有的上海睿励注册资本额增加至1.63亿元人民币，公司持股比例由20.45%增加至29.36%。

图片来源：中微公司公告截图

公告指出，根据协议的条款并以协议载明的条件为前提，本轮投资方以及上海盈赢同意以现金形式增资认购上海睿励新增注册资本，上海睿励和其他股东同意接受该等增资。

根据公告，经各方同意，本次新增注册资本1.28亿元，由本轮投资方以及上海盈赢认购，增资认购对价总额为1.83亿元，每单位注册资本认购对价约为1.43元，其中1.28亿元计入上海睿励的注册资本，5454.66万元计入资本公积，具体如下：

图片来源：中微公司公告截图

据悉，此前2021年3月，中微公司曾以1亿元现金向上海睿励出资，认购上海睿励4.83亿元新增注册资本，认购单价为1.2元/股（注册资本）。

公告介绍称，上海睿励成立于2005年6月27日，注册资本3.45亿元人民币，公司主营的产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3DNAND芯片的生产，并正在验证96层3DNAND芯片的测量性能。上海睿励应用于LED蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备，也已成功销售到国内LEDPSS衬底和LED芯片生产线。

另外，上海睿励正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备，进一步扩大可服务的市场规模。

据了解，集成电路芯片生产设备包括光刻、刻蚀、薄膜、工艺检测、清洗、离子注入等诸多个细分种类。工艺检测设备是为芯片生产各工艺提供监测数据以确保各项工艺指标满足要求从而提高成品率的关键性设备。随着芯片工艺不断向更小节点发展，芯片生产过程中的所需检测的步骤和频次越来越高，对工艺检测设备的需求量随之增加。

中微公司表示，本公司同上海睿励的客户和供应商有高度重叠，通过本次增资，能进一步形成产业链协同效应。本次对外投资系公司为完善业务布局而进行，该事项的发生有其必要性和合理性，符合公司经营发展的需要，不存在损害上市公司及全体股东特别是中小股东利益的情形。

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