技术咨询
代买器件
商务客服
研发客服11月18日，盛美上海宣布推出涂胶显影Track设备，标志着该公司已正式进军涂胶显影Track市场，这也是该公司提升其在清洗、涂胶和显影领域内专业技术的必然结果。
据介绍，盛美上海涂胶显影Track设备是一款应用于300毫米晶圆工艺的设备，可提供均匀的下降气流、高速稳定的机械手处理以及强大的软件系统，从而满足客户特定需求。该设备功能多样，能够降低产品缺陷率，提高产能，节约总体拥有成本（COO）。涂胶显影Track设备将支持包括i-line、KrF和ArF系统在内的各种光刻工艺。
涂胶显影Track设备支持光刻工艺，可确保满足工艺要求，同时让晶圆在光刻设备中曝光前后的涂胶和显影步骤得到优化。该设备专为300毫米晶圆而设计，共有4个适用于12英寸晶圆的装载口，8个涂胶腔体、8个显影腔体。该设备腔体温度可精准控制在23°C ±0.1°C ，烘烤范围为50°C至250°C，晶圆破损率低于1/50,000 。此外，全球专利申请保护的全新结构设计还可拓展支持12个涂胶腔体及12个显影腔体，每小时晶圆产能可达300片，将来在配备更多的涂胶和显影腔体的条件下还能达到每小时400片以上的产能。
据了解，盛美上海于2013年开发了首个封装涂胶机和显影机，并于2014年交付了给客户。该公司将于几周后向中国国内客户交付首台ArF工艺涂胶显影Track设备，并将于2023年推出i-line型号设备。此外，该公司已开始着手研发KrF型号设备。盛美上海董事长王晖表示，鉴于全球逻辑及存储器制造商正在寻求第二供应商，公司相信这款全新产品会有巨大的需求潜力。
封面图片来源：拍信网
文章来源于:全球半导体观察 原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。
相关文章
Hanarey瀚纳瑞在2024年车辆制造胶粘技术高峰论坛上展示UV粘接技术(2024-07-23 08:45)
Hanarey瀚纳瑞在2024年车辆制造胶粘技术高峰论坛上展示UV粘接技术;随着全球汽车科技的迅速进步，Hanarey瀚纳瑞最近参加了在上海举行的"2024车用胶粘剂/密封剂/胶粘带技术......
景嘉微最新公告：拟以6768.75万元自有资金增资埃威航电(2022-02-10)
解，埃威航电为中航（上海）航空无线电电子技术有限公司的全资子公司，埃威航电于2021年12月27日在北京产权交易所披露其增资事项。
景嘉微表示，本次投资符合公司未来发展战略规划，有利于扩充公司......
亚太地区规模最大航电论坛——2023年（第十二届）飞机航空电子国际论坛正式开启报名(2023-05-10)
直升机设计研究所
【承办单位】
中国航空无线电电子研究所
航空电子系统综合技术重点实验室
民航空管航空电子技术重点实验室
上海广尧商务咨询有限公司
议程设置
院士报告：
l 飞机/航电/产业......
又一家上市公司跨界布局半导体？这次是一家印刷企业(2021-09-13)
（以下简称“永吉股份”）发布公告，为把握国内半导体行业的发展机遇，公司拟以自有资金出资人民币1.07亿元对上海埃延半导体有限公司（以下简称“埃延半导体”）进行增资扩股。
根据公告，公司......
华南站 论坛议程、演讲嘉宾大公开，快来看看你最感兴趣的行业话题！(2022-11-02 12:02)
方：深圳市中小企业发展促进会/智博数字 慕尼黑展览（上海）有限公司
时间： 2022年11月16日 国际点胶与胶粘剂技术创新论坛 时间： 2022年11月16日 地点......
第12届半导体设备与核心部件展示会9月底无锡开幕(2024-07-23)
无锡研平电子科技有限公司
苏州隐冠半导体技术有限公司
福建双延兴业传动科技股份有限公司
上海盛剑环境系统科技股份有限公司
斯麦提克（昆山）精密机械有限公司
苏州威孚材料有限公司......
开幕在即|千余家参会企业名单发布!2024南京国际半导体博览会,6月5-7日见!(2024-05-30)
上海哥瑞利软件股份有限公司
人大金仓
宏发股份
青岛必途电子科技有限公司
合肥市华宇半导体有限公司
拉普拉斯半导体科技有限公司
北京芯导精密
特灵空调系统（中国）有限公司
北京睿微讯科电子技术有限责任公司......
Nokia单方面叫停，东方材料收购TD TECH交易告吹(2023-09-05)
新的利润增长点，为此其盯上了TD TECH公司。
据了解，交易标的公司TD TECH 的全资子公司鼎桥通信(鼎桥通信技术有限公司)、全资孙公司成都鼎桥是行业客户通信联接解决方案提供商，专业从事无线通信产品、终端......
华为反对！诺基亚21.2亿元出售鼎桥股权这事儿黄了(2023-09-05)
军还是华为轮值董事长之一。同时，鼎桥为控股型公司，全资子公司鼎桥通信技术有限公司、全资孙公司成都鼎桥通信技术有限公司为业务主要经营主体。资料显示成都鼎桥，专注于行业客户通信解决方案的研发和推广，目前在北京、上海......
安集微电子（上海）有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
北京电子城集成电路设计服务有限公司
北京华大九天科技股份有限公司
北京柯灵瑞思技术有限公司
北京力登科技有限公司
北京神州数码有限公司......