3月21日,北方华创宣布,近期公司12英寸高介电常数原子层沉积设备Scaler HK430实现稳定量产,获得批量订单。这标志着北方华创 CVD (化学气相沉积)先进工艺设备解决方案的成功应用。
为了突破晶体管尺寸微缩的工艺瓶颈,业界采用新型High-K材料HfO 2 ( 氧化铪 )作为栅介质层,结合金属栅极技术,研发出HKMG(High-K/Metal Gate高介电常数/金属栅极)工艺。
北方华创表示,该工艺在45nm及以下节点占据核心地位,CVD/ALD( 原子层沉积 )工艺设备成为HKMG工艺的重要支撑。
封面图片来源:拍信网
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