天眼查信息显示，近日睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“上海睿励”）多项工商信息发生变更，新增投资人中微半导体设备（上海）股份有限公司 （以下简称“中微半导体”），注册资本从此前的3.1亿元增加至1.28亿元，增幅逾38%。

根据天眼查股东信息显示，目前，中微半导体为上海睿励的第一大股东，认缴出资额8750万元，持股比例20.4467%。值得一提的是，国家大基金亦为上海睿励的股东之一，持股比例为12.35%。

上海睿励部分股东信息（Source：天眼查）

据悉，中微公司增资上海睿励在2020年便曾对外公告，2020年12月底，中微半导体宣布，拟对上海睿励进行增资。公告指出，中微半导体拟以现金方式向上海睿励增资1亿元，认购上海睿励新增注册资本8333.33万元，认购单价为1.2元/股（注册资本）。本次增资完成后，上海睿励注册资本增加至4.28亿元，公司持有上海睿励股权比例为20.4467%。

资料显示，上海睿励成立于2005年6月，致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备以及硅片厚度及翘曲测量设备等，是国内少数几家进入国际领先的12英寸生产线的高端装备企业之一，并且是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。

上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线并在进行了14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3D NAND芯片的生产，并正在验证96层3D NAND芯片的测量性能。其应用于LED蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备，也已成功销售到众多国内LED PSS衬底和LED芯片生产线。

据中微半导体公告介绍，上海睿励正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备，进一步扩大可服务的市场规模。

中微半导体表示，本次投资上海睿励将使公司能够布局集成电路工艺检测设备领域，是公司聚焦并落实高端芯片设备战略的又一步骤，系公司为完善业务布局而进行的投资。

封面图片来源：拍信网