一年一度的全球半导体行业盛会SEMICON China于3月20日在上海新国际博览中心拉开帷幕。作为国内首家EDA上市公司，概伦电子亮相此次盛会，现场发布了其最新的半导体参数测试与全自动解决方案，包括低漏电矩阵开关FS821、传感微结构参数测试仪FS-MEMS及自动量测解决方案ATS。

国内半导体量测行业亟需创新

随着新兴技术和市场不断兴起，芯片的复杂性和集成度不断提升，行业的技术节点也在不断提高。更先进的制程工艺、更高的良率、更大的产能成为半导体行业迫切需要面对和解决的问题。

杨廉峰博士 概伦电子董事、总裁：“半导体行业的发展需要通过集成创新的量测解决方案，来打破传统仪器固有的不足和局限。概伦电子一贯致力于为半导体行业提供创新的解决方案，我们期待利用自身在半导体电特性测试和技术开发等领域的实践经验，结合已具备国际市场竞争力的关键EDA工具，进行DTCO的应用和创新探索，与生态伙伴一起，共同推动中国半导体量测的创新和发展，为半导体工艺平台开发、芯片设计和EDA应用提供高效、高质量、高附加值的数据支撑。”

概伦电子的电特性测试系统与EDA产品软硬件协同，覆盖半导体器件电学特性测试、低频噪声特性测试、晶圆级电学参数测试和可靠性测试等领域。此次SEMICON China展会上，概伦从多个维度展示了其最新的半导体参数测试与全自动解决方案。

低漏电矩阵开关 FS821

FS821低漏电矩阵开关是概伦电子最新推出的一款自动测试支撑设备，主要用于在半导体器件测试中分配测试资源，自动切换测试信号通路。

FS821低漏电矩阵开关性能卓越，支持最大200V/1A直流范围，偏移电流可降至100fA，指标达国际领先水平，可无缝替代同类商业产品。其先进的设计可与常见的半导体参数分析仪无缝搭配，满足各类器件研究、高精度测试和自动化测试需求，是半导体量测的基础设备之一。

传感微结构参数测试仪 FS-MEMS

FS-MEMS是一款集成传感器结构参数测试功能的系统，为MEMS传感器电学参数提供晶圆级解决方案，可满足不同客户的定制化需求。

该系统内置数字IO模块，搭配智能探卡，无需更换线缆，通过一键操作即可完成动态和静态参数测试，全面覆盖电流电压（IV）、电容电压（CV）、漏电、电阻、谐振频率、Q值、正交系数、-3dB带宽等关键电学参数，实现自动测试。FS-MEMS可广泛应用于MEMS器件的研发、生产和量产测试，通过自有专利的时域衰减法技术，可在保持测试精度的同时提升测试效率，配合多通道测试技术提高测试产率，已获得多家专业用户的认可。

自动量测解决方案 ATS

ATS自动量测解决方案是概伦电子基于FS-Pro半导体参数分析仪、981X系列噪声分析仪和低漏电矩阵开关等自研硬件设备开发的全自动测试解决方案。该方案以全面的概伦自主研发的软硬件作为系统集成基础，涵盖电流电压（IV）、电容电压（CV）、脉冲式IV、高速时域信号采集、低频噪声测试以及多种可靠性测试，是业内领先的完整低频特性测试解决方案，可满足各类半导体实验室在晶圆级电学参数测试、器件模型数据测试和晶圆级可靠性测试等多方面的自动化量测需求。

该方案整合了FS-Pro的基本电性参数测试、9812的黄金标准低频噪声测试，以及符合产业标准的可靠性测试，打通了和公司先进建模提参工具之间的配合，形成了面向器件电学模型和可靠性模型的、从数据到建模的全套流程，具有行业标杆意义。凭借概伦设备的优异性能和独特功能，该方案可满足各类半导体实验室复杂多变的需求，提升开发测试效率，加速半导体器件与工艺研发的迭代，是DTCO应用中的重要组成部分。

在广阔市场需求和技术演进的推动下，概伦电子未来将持续围绕工艺与设计协同优化进行技术和产品的战略布局，致力于以目前拥有的核心EDA技术为基础，提供专业高效的EDA流程和工具支撑，以及半导体器件特性测试和一站式技术开发解决方案等多方位服务，提高集成电路行业的整体技术水平和市场价值。