一般来说三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。

三坐标测量是通过XYZ三个轴测量各种零部件及总成的各个点和元素的空间坐标，来评价长度、直径、形状误差、位置误差的一种测量设备。配备了高精度的导轨、测头和控制系统，并使用计算机程序来自动控制检测流程，计算输出测量结果。

3中常见的三坐标测量仪

1、三坐标测量机是测量和获得尺寸数据的有效方法之一，因为它可以代替多种表面测量工具及昂贵的组合量规，并把复杂的测量任务所需时间从小时减到分钟，这是其它仪器而达不到的效果。Mars系列移动桥式三坐标测量机在三维空间上通过采集点的三维坐标来评定物体几何形状，是集光、电、气、机械与计算机技术为一体的自动化坐标测量仪器。

Mars系列移动桥式三坐标测量机

2、全自动影像测量仪有放大作用，可作长度、角度、形状、表面等检验工作。属非接触式、二次元测量， 尤其适合弹性、脆性材料的测量。可增加探针传感器配置，这相当于一台小的三座标测量仪，即为复合式影像测量仪，在需要测量高度的地方，用探针取元素（点或面），然后在软件内计算高度。

CH系列全自动影像测量仪

激光跟踪仪是利用激光干涉、测距仪和两个相互垂直的角编码器组成的三维光学坐标测量仪器，通俗地说，它是利用光的反射、光的干涉和光电信号转换等原理实现测量的仪器，它使用激光来跟踪目标反射镜，通过自身的测角系统和激光测距系统来确定空间点的坐标，从而实现完整的测量过程，其测量精度最高可达到10um，能检测出各部件行走精度，比如机床导轨直线度，转台轴向，相互垂直度，径向跳动等。实际加工过程中可以使用激光跟踪仪实测被加工零件尺寸，以此做为机床加工进给量的依据，此时激光跟踪仪由检测设备转变为工艺设备，用于制造机床加工。

GTS激光跟踪仪

除了传统的三点建坐标、点线面建坐标、多点拟合坐标系等方式以外，GTS激光跟踪仪还提供了一种复杂拟合建坐标方式，这种建坐标方式允许使用工件上的任意曲面、平面、定位孔、定位点组合起来作为建坐标的基准，拟合计算出工件坐标系。